LIGA 制程原理及应用(初稿).pdfVIP

LIGA制程原理及應用 Terry.Liao Outline ¡ 微機電系統技術(MEMS)簡介 ¡ LIGA技術介紹 ¡ LIGA技術制程原理 ¡ LIGA技術的特點 ¡ LIGA技術的應用 MEMS簡介 ¡ MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是微機電系統的 縮寫 。MEMS是美國的叫法 ，在日本被稱為微機械 ，在歐 洲被稱為微系統 。 ¡ MEMS主要包括微型機構 、微型感測器 、微型執行器和相 應的處理電路等幾部分 ，它是在融合多種微細加工技術 ， 並應用現代資訊技術的最新成果的基礎上發展起來的高科 技前沿學科 。 ¡ 目前MEMS市场的主导产品为压力传感器 、加速度计、微 陀螺仪 、墨水喷咀和硬盘驱动头等 。大多数工业观察家预 测 ，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势 ，年平 均增加率约为18% ，因此对对机械电子工程 、精密机械及 仪器 、半导体物