GB/T 34898-2017微机电系统(MEMS)技术　MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法.pdf

ICS31.200 L55 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT34898 2017 微机电系统( )技术 MEMS MEMS谐振敏感元件非线性 振动测试方法 — Microelectromechanicalsstemtechnolo Testmethodforthe y gy nonlinearvibrationoftheMEMSresonantsensitiveelement 2017-11-01发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT34898 2017 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅰ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 敏感元件非线性振动测试特性参数 …………………………………………………………………… 1 5 测试方法及其选用原则 ………………………………………………………………………………… 2 5.1 光学测试法 ………………………………………………………………………………………… 2 5.2 电学测试法 ………………………………………………………………………………………… 2 6 敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法 ………………………………………………… 2 6.1 光学测试方法 ……………………………………………………………………………………… 2 6.2 电学测试方法 ……………………………………………………………………………………… 3 7 敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法 …………………………………………………… 4 8 敏感元件非线性跳跃振幅阈值测试方法 ……………………………………………………………… 5 9 非线性振动引起的敏感元件频率偏移测试方法 ……………………………………………………… 5 、 ……………………………………… 9.1 自激闭环系统 锁相闭环系统和锁幅闭环系统的频率偏移 5 9.2 间歇激励闭环系统的频率偏移 …………………………………………………………………… 5 ( ) …………………………………… 附录 规范性附录 敏感元件非线性振动数学模型和弯曲系数 A 6 ( ) ………………………………………………