实时测量308nm激光对薄膜的损伤阈值ξ-强激光与粒子束.pdfVIP

　第10卷　第1期 强 激 光 与 粒 子 束 . 10, . 1　 V o l N o 　1998年2月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Feb. , 1998　 实时测量308nm 激光对薄膜的损伤阈值 高鸿奕　楼祺洪　董景星　丁爱臻 ( 中国科学院上海光机所, 上海800211信箱, 201800) 　　摘　要　用散射光法, 建立了一套实时监视与测量308nm 激光对全反膜和增透膜的损伤 的实验装置。实时观察到了损伤从起始、加深直至饱和的整个过程的波形。用这一装置测量了 全反膜和增透膜在308nm 激光作用下的损伤阈值。测得全反膜在0 °与45 °入射角时的损伤阈值 分别为17与10 2 。而增透膜的阈值为13 2。 J cm J cm 　　关键词　激光损伤　薄膜　损伤阈值 16 2 [ 3 ] 　　密度在 、 多级放大中, 激光功率密度已达到10 以上 。这就要求相应 ICF R am an W cm 光学元件的抗破坏阈值也要随之提高。在某些研究领域, 光学元件的抗破坏能力直接关系到了 研究工作的成败。为寻求高性能的光学元件, 首先要有一套能有效、便捷地测量材料在各种激 光作用下的损伤阈值的装置, 并由测量数据研究其受损机理, 探索出提高破坏阈值的途径。 　　在损伤阈值测量之前, 首先提出损伤的的判断问题。最初是直接用肉眼或显微镜观察辐照 表面有无宏观损伤或等离子体闪光, 但此法较为粗糙, 损伤点不易寻找, 而且当激光能量较 低, 尚未引起表面宏观破坏时无法看出损伤, 而这时材料的微观结构及光学性能可能已经改 变, 如折射率、透过率的改变以及热形变等。因此, 对损伤的判断, 以材料光学性能是否改变而 不是宏观上的破坏作为标准, 显得更为客观。在这个标准的基础上, 国内外学者根据各自的情 [ 3 ] 况设计出了多种测量阈值的具体方法, 如光声法 、光热偏折法、全息或干涉法等。这些方法都 有它们的局限性, 例如: 光热偏折法, 探测信号较弱, 要进行放大; 而全息或干涉法, 虽然测试精 度较高, 但需要建立一个防震系统。 [ 4 ] 　　本实验采用散射光法 , 用一个置于焦点的刀口阻挡原始测试光, 再用现有的一维紫外光 电二极管接收表面的散射光信号, 最后通过同步触发的示波器显示, 观察薄膜表面的损伤过程 并进行阈值测量。该系统是一种相当简单而灵敏度高的测试系统。 　　对于材料的损伤研究, 由于镀膜材料的多层复合结构, 使对它的损伤研究比对其它材料的 研究复杂得多, 人们在这方面的研究开展得较少。而薄膜在紫外激光作用下的损伤是喇曼多级 放大实验中较为重要的问题, 所以本文着重研究紫外全反射膜与增透膜在脉冲激光作用下的 损伤过程, 测量其阈值, 分析损伤机理。 1　实验方法 1. 1　实验装置 　　实验装置如图1所示。实验用一束 激光作测试光从后面透射照射样品, 激光辐照点 H e N e 与 测试光点在样品表面重合, 样品前依次放置物镜、刀口与成像透镜, 最后用一紫外光 H e N e 电管接收器来接收散射光信号。虽然紫外光电管对红光的灵敏度较紫外光来