光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究.pdfVIP

第 卷第 期 光 子 学 报 ４１ ９ 　 　 　 Ｖｏｌ．４１Ｎｏ．９ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１２ ９ Ｓｅｔｅｍｂｅｒ２０１２ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｐ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１０７１ ｇ 光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究 王学亮，巩岩 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，长春 １３００３３） 摘 要：针对压电陶瓷在光刻机投影物镜中作为像质补偿镜组促动器的特定应用要求，对一种以集 　 成运算放大器构成的压电陶瓷驱动器的动态性能进行了研究 首先，针对驱动器系统中集成运放固 ． 有频率特性对动态性能的影响进行了分析，确定了外部补偿网络的参量 然后，针对驱动器系统大 ． 容性负载对动态性能的影响进行了分析，提出了隔离电阻的补偿方法 最后，讨论了驱动器系统中 ． 寄生电容对动态性能的影响 计算表明：补偿后的压电陶瓷驱动器系统相位裕量为 ，阶跃响应 ． ７９° 无超调量，调节时间为５ ｓ．基本满足压电陶瓷在光刻物镜中作为像质补偿镜组促动器的稳定性 μ 强、响应快速、超调量小等动态要求． 关键词：光刻物镜；压电陶瓷；动态性能 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ３０５．７ Ａ １００４４２１３２０１２０９１０７１５ 　　　 　　　 ［ ］ １１ 的驱动器 ； 和 ７．８ｍＶ ＤａｎＪ．Ｃｌｉｎｍａｎ Ｍｉｋｅ ０ 引言 ｇ 　 Ｇａｍｂｌｅ研制了一种应用于中大型压电器件的开关 ［ ］ 光刻机作为集成电路的生产设备在半导体领域 式 １５００Ｖ输出的驱动器 １２ ．可以发现，以上研究 有着广泛的应用 随着集成电路从小规模到超大规 ． 多将研究重点集中在压电陶瓷驱动器的稳态输出准 模和特大规模的发展，光刻机投影物镜的分辨率要 确度和高压输出能力上，针对驱动器动态