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EVO 系列扫描电镜
简明应用指南
华南理工大学—蔡司公司
电子显微镜合作实验室
1
目 录
第一章 基本概念 …………………….. (3 )
第二章 电子束与样品相互作用 …….. (5 )
第三章 电镜结构和工作原理 ……….. (7 )
第四章 电镜操作规程 ……………… (11)
第五章 操作参数的选择和调整 ……. (12)
第六章 成像 ….……………………… (16)
第七章 微区成分分析 ……………... (20 )
第八章 样品制备技术 ……………... (21 )
参考文献
致 谢
2
第一章 基本概念
一.概述
1.人眼分辨率
平时看报或看书,眼睛通常距离报纸
A
0.2 mm 250mm ,这时人眼的分辨能力可区分两个最近
B
250 mm 眼睛 的物点为 0.2mm,这就是人眼分辨率限度,视
图 1 力通过校正后也应该如此。如果想要观察再小
的物体,必须借助光学仪器。
2 .光学放大镜
这是日常生活中最常用的、最简单的光学仪器。如果光镜放大倍率为 10
x ,放到物体前面,人眼可以分辨 0.02mm 间距的两个点,人眼分辨率提高 10x。
如果还要观察更小的物体,就要使用显微镜。
3 .光学显微镜
利用物镜和目镜组合,放在物体前面,如果放大倍率达到 1000x,人眼
分率率改善到 200 nm 。以此类推,是否显微镜的放大倍率越高,对人眼看的
就越精细?实际并非如此,当放大倍率高到一定程度时,看到的不是两个分
离的点,而是两个相互重叠的弥散园。仪器分辨率的提高受到照明光源波长
λ的限制,其显微镜的分辨率范围r / 2 。当利用波长λ=390nm~760nm
0
的可见光照明物体成像,分辨率r 200nm ,这是光学显微镜的分辨率限度。
0
为了进一步提高分辨率,可以使用波长更短的电子束照明物体成像。
4 .电子显微镜
在真空中高速飞行的电子束与可见光有相似特性:直线传播,可以利用
电磁透镜聚焦成像,其波长约为可见光的十万分之一。利用电子束作为照明
源,分辨率显著改善,下表为目前电镜分辨率和放大倍率的比较。
放大倍率
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