测控仪器设计第3版浦昭邦电子课件暂缺第1章测控仪器设计第4章刘炳国.ppt

* 2．密珠轴承设计要点 （1）滚珠的密集度 （2）滚珠的排列方式 （3）过盈量的确定 ：过盈量与轴和套的尺寸、零件的加工误差、轴承承受的载荷等因素有关。 一般取1.5-12μm * 四、气体静压轴承轴系结构及设计 空气静压轴承轴系的典型结构 （1）圆柱型空气静压轴承轴系 气体静压轴承是以一定恒压的净化空气充满轴承套与轴之间，并以其为润滑介质构成的轴承。 1）由于空气粘性极小，因此几乎没有摩擦力矩，旋转灵活，无磨损，工作中不用维修调整，具有可以在特殊环境下使用的优点。 2）由于气膜对轴承零件的加工误差有平均作用，构成轴系后的回转精度可比轴承副零件精度有很大提高。 3）目前空气静压轴承的回转精度已高达0.01μm，因此常用作为高精度仪器的轴承。 * 五、液体静压轴承轴系及设计 特点: 1）形成液体摩擦，摩擦力极小，几乎无磨损，寿命长，转动灵活，消耗功率小 2）与气体静压轴系相比刚度更高，承载能力大，常用于大型或重型仪器上，在机床上应用比较广泛。 3）回转精度较高，可达0.05μm。由于油液分子的平均作用，使轴系回转精度可高于零件加工精度。 4）抗振性好于气体静压轴承。 5）需要一套高质量的供油系统，不仅系统复杂化而且成本也较高。 * 动压轴承轴系结构 特点: 回转精度高，可达0.025μm。 承载能力较大， 刚性较好。 动态情况下无磨损，寿命长。 制造使用和维修都比较方便，结构比液体静压简单，不需要油泵站。 起动时主轴和轴承刚性接触，有磨损，低速大载荷油膜难以建立。 主轴只能向油楔减小方向转动，不能反转。 获得动压的条件 1.有斜楔 2.转速均匀 3.转动方向固定 4.有润滑 * 轴系的比对 特性 轴系名称 回转精度 转动灵活性 承载能力 耐磨性 使用环境 成本 滑动轴系 圆柱滑动轴系 2~10μm 较差 大 差 要求较低 低 圆锥滑动轴系 0.2μm 滚动轴系 标准滚动轴承轴系 0.5μm 较好 较大 较好 要求较高 较高 单列非标准滚动轴承轴系 0.2μm 密珠轴系 0.1μm 液体静压轴系 0.05μm 好 大 好 要求高 高 气体静压轴系 0.01~0.02μm 好 较大 好 要求高 高 动压轴系 0.025μm 好 较大 好 要求高 高 * 第五节 微位移机构及设计 微位移技术是一行程小、分辨力和精度都很高的技术，其精度要达到亚微米和纳米级 应用微位移技术的系统称为微系统 它由微位移机构、精密检测装置和控制装置三部分组成 微位移机构 控制系统 检测装置 * 微位移结构组成和分类 柔性支撑 + 压电或电致缩位移驱动器； 滚动导轨 + 压电陶瓷或电致缩驱动器； 滑动导轨 + 机械式驱动； 平行弹性导轨 + 机械式或电磁、压电、电致伸缩位移驱动器驱动； 气浮导轨 + 伺服电机或直线电机驱动 ； 根据导轨形式和驱动形式微位移机构分为以下5类： * 一、典型的微位移机构 (1)柔性支承一压电器件驱动的微位移机构 柔性支承无间隙、无摩擦、不发热 压电驱动精度高、无噪声、不受温度和电磁场影响、体积小、不老化，因而很容易实现0.l～0.001μm的微位移 * （2）平行片簧导轨一电压器件驱动的微位移机构 微工作台用平行片簧导向 无间隙，无摩擦 精度高 0.0lμm位移分辨力 * （3）滚动导轨一压电器件驱动 滚动导轨微工作台原理图 导轨 承片台 压电陶瓷 压电陶瓷 具有运动灵活、行程大、结构较简单、精度较高 行程±9.5μm，定位精度±0.04 μm（自动分布重复光刻机） * （4）平行片簧导轨一步进电机及机械式位移缩小机构驱动 * 行程±50μm 分辨力0.05 μm 精度±0.5μm 4.1杠杆式位移缩小机构原理图 * （5）平行弹簧导轨一电磁位移器驱动 行程较大；分辨力0.01 μm；精度±0.2μm * （6）气浮导轨一步进电机及摩擦传动 ±0.1 μm定位精度 分布重复照相机上使用 * （7）二维X-Y双向微位移工作台 50~100 μm位移 * 二、微驱动器件 （1）压电及电致伸缩器件： 在微位移器件中，压电及电致伸缩器是应用逆压电效应或电致伸缩效应工作的，即电介质在外电场作用下产生应变。电介质在外加电场作用下的应变与电场的关系为: 具有压电效应和电致伸缩效应的材料称为压电材料。常用压电材料是压电陶瓷，尤其是以锆酸铅和钛酸铅组成的固溶体使用更为普遍，以Pb（铅）、Zr（锆）、Ti（钛）这三种元素符号的第一个字母组成PZT来代表。 压电器件和电致伸缩器件结构紧凑体积小，位移分辨力高，控制简单，不发热，抗干扰性好，因而