半导体存储器课程设计讲解教程.pptVIP

* Atlas-输入文件结构 go atlas # mesh infile=0d18.str # models cvt srh print ……………… # method gummel newton # solve init ……………… # tonyplot 0d18_vt.log ……………… 启动Atlas 定义器件结构 (mesh) 定义材料模型 (contact, model, interface) 定义数值模型 (method) 定义电气仿真解法 (log, solve, save) 仿真结果输出 (tonyplot) * Atlas-基本语句(1) 结构读入语句： 基本语法： mesh infile=filename a. infile: 需仿真的器件结构，由Athena产生 b. 如果athena与atlas在一个输入文件中，则系统会自动读取athena的最后一个.str文件作为atlas输入 栅/Shottley结定义语句： 基本语法： contact name=electrode name n.poly?控制栅 contact name=electrode name floating?浮栅 * Atlas-基本语句(2) 介面态定义语句： 基本语法： interface qf=n a. qf: 半导体与绝缘体介面处固定电荷密度，缺省值为3e10