05CCD基本工作原理.ppt

教学进度 第五讲 CCD图像传感器基本工作原理 CCD型图像传感器突出特点：以电荷为信号载体； CCD的基本功能：电荷的存储和电荷的转移； CCD图像传感器的基本工作过程： 光电转换 （将光转换成信号电荷） 电荷的储存（存储信号电荷-光积分） 电荷的转移（转移信号电荷） 电荷的检测（将信号电荷转换成电信号） 第五讲 CCD图像传感器基本工作原理 电荷存储 电荷耦合 CCD电极结构 电荷注入和检测 CCD特性参数 电荷耦合摄像器件：工作原理、特性参数 信号电荷以何种机制储存？ 信号电荷是空穴还是电子？——CCD多用电子 利用电子可以被高电势所吸引的性质。 在光电二极管中，不管用什么方法只要做出高于周围电势的部分，信号电荷(电子)就可以在此集中储存。 电势阱：储存信号电荷的电势分布状态 MOS电容器的结构如图所示。在P型（或N型）半导体硅衬底上，生长一层很薄的SiO2绝缘层，再蒸镀上一层金属(铝)或高掺杂的多晶硅作为栅电极。衬底接地，栅极外接电压。 表面势 ：半导体与氧化层界面上的电势。 表面势表征了耗尽区的深度，与栅极电压和氧化层厚度有关 驱动脉冲波形设计 三相普通结构CCD 假设初始时刻电荷存储在电极Ф1下，向右定向移动 作业一 设计由普通电极结构组成的四相CCD的驱动脉冲。 设计要求：信号电荷最初仅存在于电极Ф2下，并要求信号电荷从左到右在CCD中定向移动。 波形分析：根据驱动波形知道驱动脉冲的占空比为多少？驱动脉冲时序上的关系 （Ф2 比Ф1延迟多长时间）？ 驱动电路：相应的时序电路如何设计？ 说明： CCD的电极分成几组，每一组称为一相，每一组施加同样的时钟驱动脉冲。 CCD工作所需要的驱动脉冲相数由其电极结构决定。对于普通结构的 CCD，为了使电荷包单向转移，至少需要三相。 对于特殊结构的 CCD，也可采用二相供电或四相供电等方式。 信号电荷必须在相应驱动脉冲作用下，才能以一定方向逐单元地转移。 CCD电极间隙必须很小（不大于3微米），电荷才能不受阻碍地从一个电极转移到相邻电极下；如果电极间隙过大，两电极的势阱就被势垒隔开，不能合并，也就不能发生移动了。 三、CCD的电极结构——信号电荷转移的驱动接入 CCD转移电极一般用金属铝或多晶硅制成； CCD转移电极基本要求： 电荷定向转移 相邻势阱耦合 （1）三相单层铝电极结构 （2） 三相电阻海结构 （3） 三相交叠硅栅结构 （3） 三相交叠硅栅结构 3、四相CCD 4、体沟道CCD （埋沟道CCD——BCCD） 两种来源：光注入（图像传感器）＋电注入 2、电注入：给 CCD势阱中注入电荷 通过输入结构对信号电压或电路进行采样，然后转换成信号电荷注入到相应的势阱中。 2、驱动频率 驱动频率：加在转移栅上的脉冲频率，如CR1或CR2的频率。 1）驱动频率的下限 限制来源：为避免热激发少数载流子的干扰，要求电荷从一个电极转移到另一个电极所用的时间 t 必须小于少数载流子的平均寿命为τi 。载流子平均寿命与温度有关，温度高寿命短。 对于相同结构设计的n沟道（P型衬底）CCD比p沟道CCD的工作频率高。 图示为：三相多晶硅n型表面沟道（SCCD）的实测驱动脉冲频率与电荷转移损失率ε之间的关系曲线。 由曲线可以看出，表面沟道CCD驱动脉冲频率的上限为10MHz，高于10MHz以后，CCD的转移损失率将急骤增加。 七、电荷耦合摄像器件 ICCD——CCD在摄像领域的应用 （一）工作原理 电荷耦合摄像器件( ICCD): 用于摄像或像敏的CCD; ICCD功能：把光学图像信号转变成一维以时间为自变量的 视频输出信号。 线阵CCD: 可以直接将接收到的一维光信息转换成时序的电信号输出，获得一维的图像信号。若想用线阵CCD获得二维图像信号，必须使线阵CCD与二维图像作相对的扫描运动，所以用线阵CCD对匀速运动物体进行扫描成像是非常方便的。 应用：扫描仪、传真机、航空图像扫描系统 面阵CCD: 二维的图像传感器，可以直接将二维图像转变为视频信号输出。 1、线型CCD摄像器件的两种基本形式 单沟道线阵 ICCD： 2、面阵CCD 思考题： 光积分期间,转移栅的电压是高电位还是低电位?为什么？ 答案：低电平。 光积分时，光生电荷在三个电极中哪个下面的势阱中？ 答案：三个电极中加高电平的电极下。 场逆程时，是由图中哪些脉冲驱动完成帧的转移的？ 答案：ICR1/2/3 和 SCR1/2/3 共六组电极。 行正程期间，暂