玻璃面板检测之影像处理软体开发技术转移执行成果报告执行系所.PDFVIP

玻璃面板檢測之影像處理軟體開發技術轉移 執行成果報告 執行系所：電機系 計畫主持人：吳明芳 聯絡電話： 0912994102 E-mail ：wumifa@mail.ksu.edu.tw 計畫名稱：玻璃面板檢測之影像處理軟體開發技術轉移 計畫編號 ：102-N-270-COM-P-703 執行期間： 102 年 9月 1日 ~103 年 8月 31日 中 華 民 國 1 0 3 年 1 0 月 2 3 日 1.研究計畫背景及目的 1-1 背景及目的 機 器 視 覺 檢 測 亦 稱 為自 動 化 光 學 檢 測 (Automatic Optical Inspection ，AOI) 主要用於工廠作業生產線上針對於零件與產品品質所 檢視。近年來由於版導體與電腦、電子、再生能源產業蓬勃發展，造成 自動化光學檢測技術需求大幅提昇 ，尤其當半導體晶片與電子通信產品 內部之線路愈見細微，無法再依賴人類肉眼之檢測時，製造業者深刻瞭 解產業存活與成功的關鍵是降低成本、提昇生產力品質，因此必須重新 檢視、設計製造程序，又其中以 AOI檢測系統成為重視品質管理的高科 技產品生產環境中不可缺少的設備之一。全世界有很大部分的LCD面板 是在台灣生產製造的，因此針對生產設備的需求日益升高，再者因為生 產設備的改進，在TFT-LCD產業中的熱門趨勢已經顯示出在螢幕尺寸與 密度都持續加大中。這使得快速 、高產出率已經是管理成本費用中所需 考慮到的基本要素，因此加速產出數量就是 LCD產業所要面臨的最大挑 戰。無瑕疵 LCD 生產設備是TFT-LCD面板製造過程相當重要的一環，為 了確保大量生產的LCD面板的品質，自動化錯誤偵測絕對是不可或缺的 元素。在製造過程中有一些重要因素將會影響到最終產出產品的品質， 而最終目標是要產出「百分百完美」的螢幕供銷售。因此，在每一面板 完成後就能進行快速與高正確性的視覺檢查將是產出完美產品的重要 關鍵。自動化光學檢測系統就是要能快速且正確地偵測出瑕疵並加以分 類。 隨著面板產業的蓬勃發展，對於品質上的要求提昇，相對於檢測技 術上的需求也日漸提高，早期工業界採用的檢測方式通常是透過人工以 肉眼和經驗去檢驗，不僅缺乏效率且擁有極高的錯誤率，產生以下問題 發生 : 受限於人眼的最小可辨識能力 ，人工檢測在精度上有所不足。 人工檢測費時，增加元件暴露在外的時間，使面板易受環境落塵影 響。 人工檢測受限於成本及檢測速度，只能達到抽檢，無法達到全檢。 檢測人員認定變異性大，易受主觀影響。 由於瑕疵規格逼近人眼極限，且檢測人員必須長時間注視光源，容 易因疲累等因素產生誤判。 因此，經由人工檢測後的品質上較難達 到穩定上的需求，而任何一 類瑕疵發生將使得最後的產品不能達到良品的要求，如果透過機器視覺 即早發現瑕疵，則可以確保最後產品的品質及避免後端製程之材料浪 費，偵測出瑕疵位置後進一步擷取瑕疵 特徵並進行分類，此分類資訊將 - 2 - 可有助於製程的改進。 近年來AOI 系統逐漸被大量使用於面板工業檢測中，並且隨著機器 視覺 (Machine Vision)產業不斷創新與成長，也為了迎合機器視覺成為提 高製程良率不可或缺之重要技術，各種影像視覺檢測及分析技術應用於 AOI中的研究與發展自當為勢所趨，所以 本子計畫研究的目的在於運用 及發展各類影像視覺檢測技術於 AOI 系統中，以準確檢測出各項瑕疵種 類及完成瑕疵的分類 。 1-2 文獻回顧 過去已有許多研究人員在瑕疵檢測上投入多方面的心力。其中在國 際上的研究有 K.NAKASHIMA [1]把 LCD之彩色濾光面板瑕疵可分為兩 大部分，一種為巨觀性瑕疵(Macro-Defect) ，另一種為微觀性瑕疵 (Micro