磁控溅射卧式铝镜生产中关键问题与解决的办法.docVIP

磁控溅射铝镜生产中的关键技术问题及解决办法 青岛环球集团股份有限公司 刘增喜 磁控溅射铝镜生产线结构复杂，涵盖机械设计制造、真空技术、物理学、材料学、力学和控制工程等多方面的学科知识，在生产过程中遇到了以下几个关键技术难题： 真空镀膜室的密封问题 真空镀膜室的密封性是控制真空度的关键，也是控制镀膜质量的关键。真空镀膜室是九室八锁，除四五六室相通外，其他每个室与外界都是完全隔离的，只是在玻璃通过时真空锁才瞬间打开，然后瞬间关闭，因此真空镀膜室在焊接加工过程中对密封性要求很高。 为提高真空室的密封性，首先在焊接过程中全程采用氩弧焊和手工电弧焊焊接，焊接要求连续焊接，无漏焊、气孔、虚焊、焊瘤、夹渣等焊接缺陷；其次在真空室安装完成进行试机时，用氮质谱检漏仪进行检漏，检出漏点重新进行补焊，再检漏，直至极限压力达到3x10-3Pa时，升压率低于1Pa/h。 采用直流磁控溅射镀膜工艺，磁控靶采用旋转模式； 真空镀膜室为九室八锁，真空锁锁板用铝材加工而成，锁板开关由电磁换向阀、气缸、传动齿轮齿条驱动，密封性能好； 粗抽真空室采用台阶式抽气模式，盖板为下凹型，传动轴之间设置填充方管可大幅减少抽真空的时间，提高生产效率； 破真空充气系统采用双层槽式分流结构，避免玻璃破碎；避免了玻璃板因破真空充气破碎而停机，降低玻璃板原料的损耗，节约成本。 抽真空系统分为粗抽和精抽，可分级自动控制； 扩散泵的加热电流都有电流表分别显示其加热电流大小，方便监控扩散泵电炉丝是否正常工作； 水冷系统有断水保护装置，水压不足或断水时，报警器就会发出连续响声，同时自动关闭扩散泵加热、及磁控靶电源； 旋转靶、真空机组各为独立的闭环式冷却水系统，配置冷却塔后可循环使用，节约了生产用水； 传动轴为铝合金管轴，重量轻，转动惯性小，使玻璃定位准确； 玻璃的跑偏问题 磁控溅射铝镜生产线总线长200~300m，输送速度3~6m/min，基片在输送过程中会由于各种原因产生横向偏移，当偏移量达到12mm/m时，真空镀膜会受到影响，因此必须解决玻璃输送过程中的跑偏问题。 玻璃的跑偏跟安装过程及输送辊道的质量都有密切的关系。辊道有胶辊、全胶辊、海绵辊等特殊材质辊道，其材质特性决定了辊道的直线度和圆度不好控制，为解决这个问题，我们在套上胶圈后，通过加工胶圈外表面来保证要求。安装过程中必须找正，调试，保证玻璃整线的跑偏量控制在±50mm以内。 自动上片机机械式翻转，全智能人机界面，可一次性自动设定各种参数，无需反复操作； 输送台是采用同步带输送，其升降由一套联动机构来操作，包括机架与位于其上方的输送平台。输送平台的底面固设承托支架，机架底部设置气缸与升降托架，气缸尾部与机架形成铰接相连，气缸伸缩轴端与升降托架形成铰接相连，机架的台面上均布铰接若干摆动件，摆动件的底端与升降托架形成铰接相连，摆动件的顶端与承托支架形成铰接相连。本机构是由一个动力设备来带动组件实现摆动，确保动作一致，平稳运行，减少了输送台的倾斜及颤动；并减省多台设备，降低成本；其操作实现独立性和可调节性，使得升降平台的高度可根据使用要求进行设计调节。 升降平台升起时的外观图（图1-1） 图1-1 升降平台落下时的外观图（图1-2） 图1-2 同步带采用新型带轮涨紧装置。本带轮的张紧装置包括同步带轮与中轴，同步带轮套设于中轴上形成转动连接，中轴的两端处呈对称设置带轮支板，带轮支板上开设导滑槽，中轴的两端固设滑块，滑块嵌入导滑槽中形成滑动连接，滑块上连设调位机构。本带轮的张紧装置结构简单、实用可靠且易操作，既可长距离调节，也可微调，既满足了使用过程中方便拆卸更换同步带的需要，又满足了正常运行时同步带张紧的需要；同时确保同步带平稳运行，实现即时调节，无需停机，无需特殊工具（见图1-6）。 图1-3 电气失灵的保护问题 自动上下片时，可能会因为电气失灵，而导致吸盘架无法控制，撞向玻璃架，造成损失。 为解决这个问题，我们将吸盘架机械翻转机构设计为可往复旋转，吸盘架的自由翻转范围控制在-5°~100°，而吸盘架的工作范围是0°~95°，因此当电气失灵时，吸盘架仍然在安全区域内进行翻转，避免了意外事故的发生。 加工难度和加工精度高 磁控溅射铝镜生产线关键部套的加工精度要求很高，例如淋漆机的漆刀等主关键，还有部分大件在加工时也遇到了一些困难。 为了提高加工件的精度，首先我们配置了大量的数控车床和立式、卧式加工中心，从硬件上提供了保证；其次，我们对关键的、要求精度高的零件，反复论证，确定了专用的工装和合理的加工工艺。 漆刀的安装问题 漆膜的厚度是通过控制漆刀和导油辊筒之间的间隙来调整的，本配置中的淋漆机漆刀垂直安装，漆刀底部有油漆接收槽，漆刀的调整有粗调和微调两种方式，既可操作手柄通过调整偏心套来调整导油辊筒和平面漆刀的间隙，