材料制备技术3.5 低压合成.pptVIP

低真空： 105～3.3×103Pa 中真空： 3.3×103～10-1Pa 高真空： 10-1～10-4Pa 很高真空： 10-4～10-7Pa 超高真空： 10-7~10-10Pa 极高真空： 低于10-10Pa 产生真空的过程称作抽真空。用于产 生抽真空的装置称为真空泵。 3、真空泵的简介 (1) 往复式真空泵 原理：运转时，气缸内的活塞作往复 运动，活塞的一端从真空系统中吸入气 体，另一端将吸入气缸内的气体通过气阀 排入气阀箱，再由排气管排入大气。泵的 极限是1kPa。不可用于抽出腐蚀性气体或 含有颗粒状灰尘的气体。 往复式真空泵 是获得粗真空的设备。一般用于真空蒸馏、真空蒸发、真空结晶、真空干燥、真空过滤等过程 。 (2) 水蒸气喷射真空泵 原理：由高速水蒸气喷入抽气机内而建立 一个低压空间，被抽系统内的气体，就不 断流向此低压空间而被水蒸气流带向出气 口，排到大气中，它的极限真空度可达 0.1 kPa。 (2) 水蒸气喷射真空泵 优点：抽气量大，安装运行和维修均简便，适用于真空蒸发、浓缩、真空干燥、真空制冷、真空冶炼等作业。 (3) 滑阀式真空泵 极限 0.07kPa。不适用抽出含氧过高、有爆炸性的以及对金属及真空泵油能起化学作用的气体。一般用于真空冶炼、真空干燥、真空蒸馏、真空处理等作业。 (4)．机械增压泵 又称罗茨泵 由两个8字形转子在定 子内相对旋转，形成 容积的重复变化，达 到吸气和排气的目 的。 (4)机械增压泵(罗茨泵) 由于转子与转子之间、转子与定子之间都不接触，也没有摩擦，因此它的转速高达1000～3000r／min。这种泵有抽速大、体积小、噪声低、驱动功率小、启动快等优点，广泛用于冶金、化工、电子等工业中。 (4)．机械增压泵(罗茨泵) 罗茨泵必须配置合适的前级泵，在100～1Pa真空下有较大抽速，弥补了机械泵和蒸气流泵在该压力范围下抽速小的缺点。在高真空工业中，罗茨泵常作为大型扩散泵或涡轮分子泵的前级泵使用，其极限真空度可达0．01Pa。 (5) 旋片式机械泵 整个泵体浸没在真空泵油中，转子紧贴在定 子圆柱形空腔的上部，并和空腔不同轴。转子 由电动机带动在空腔内旋转，由于弹簧的作 用，转子上的翼片总是紧贴在空腔的壁上。当 转子顺时针方向转动时，与进气管相通的空腔 逐渐增大并吸入气体，与排气阀相通的空腔则 逐渐缩小，将气体压缩，然后气体冲开阀门， 通过油层及排气管入大气。 使用旋片式机械泵时应注意： ①不能反转，反转会将油压入真空系统造成污染； ②停止工作时，先将泵与连接真空系统的阀门关闭，再向泵中放入干燥空气，否则泵油也会进入被抽系统。在实验室中，泵与被抽系统的连接一般通过真空活塞，在停止工作时，立即将三通塞通向大气； 使用旋片式机械泵时应注意： ③要防止金属屑、玻璃碴之类固体抽入泵中，损害泵体； ④泵油不能混入其他易挥发杂质，也不能用泵抽除水分很多的系统，否则会造成翼片腐蚀，降低极限真空度。最好被抽气系统与真空泵之间串连一个干燥管，让系统中的气体经干燥管脱水后再被抽入泵中； ⑤定期更换新油。 （6）扩散泵 工作时，先用前级泵将扩散泵及系统抽成 预备真空，由泵下部的电炉加热，使扩散 泵油在真空下迅速挥发成蒸气。油蒸气沿 导管上升，由喷嘴喷出。 (6) 扩散泵 高速喷出的油蒸气打在水冷壁上，又凝结成液体经导管流回泵底，再重新加热汽化，如此不断循环。被抽系统中的气体分子由于热运动扩散，经进气口进入喷口下边的空间时，在大量的高速定向运动的油分子的碰撞下，被带到泵的下部，经排气口被前级泵抽走. (7) 涡轮式分子泵 它是获得超高真空的设备之一。这种泵的转子和定子都装有多层带斜槽的涡轮叶片，转片和定片的斜槽方向相反，每一转片处于两个定片之间。分子泵工作时，转子以24000～60000r／min的转速高速旋转，迫使气体分子通过斜槽从泵中央流向两端，从而产生抽气作用。 (7) 涡轮式分子泵 分子泵的极限真空度可达10-6～10-8Pa，残余气体主要是相对分子质量较小的气体，如H2。它启动快，抽速平稳，在1～10-5Pa范围具有恒定的抽速。在工作中突然冲入空气时，不会使泵的结构和性能受到破坏。 (8) 吸附泵 利用分子筛对气体物理吸附的可逆性， 即在低温下吸附气体、升温后又解吸的功 能来实现抽气。除了氢、氦和氖等极难液 化的气体(它们的沸点均在28K以下)外， 其他气体均能高效率地被吸附泵抽出。 (8) 吸附泵 吸附泵必须装有安全压