多晶硅太阳能行业超纯水设备讲座.ppt

+ CO2 + H2O TOC UV (185nm) 紫外線去除TOC機制 AS INDICATED BY THE GRAPH, THE AQUAFINE UV LAMP OUTPUT IS PRIMARILY IN THE 254 nm RANGE WHICH IS THE PROPER WAVELENGTH TO DESTROY BACTERIA. THE LAMPS HAVE A SPECIAL COATING ON THE INTERIOR TO PREVENT 185 nm UV WAVELENGTH RADIATION BEING OUTPUT FROM THE LAMP. 185 nm Lamp Output H2O + 185 nm UV = H. + OH. 氫氧自由基(OH. Radicals) 與碳氫化合物進行氧化反應 屬於光化學連鎖反應 以Formic Acid的光化學反應為例 光化學反應如下 HCOOH + OH. = CO2 + H2O TOC 減量的化學反應機制 185 奈米波長紫外線照射水體將H2O 分解成氫氧自由基(OH. ) 及氫自由基, 而氫氧自由基再去氧化水體中的碳氫化合物成為二氧化碳和水 當大部分的有機化合物分解成二氧化碳和水以後, 二氧化碳和水結合成碳酸會導致水體的導電度增高 導電度增高可藉由純水系統後段的DI樹脂降低導電度的問題 紫外線去除TOC機制 系统各段TOC值的控制 名称 二级ROⅠ 一级TOC～EDI 二级TOC SMBⅠ SMB Ⅱ <100～200ppb 电阻值 <50ppb <20ppb <10ppb <2ppb 溶 解 氧 TOC软件设计 控制重点 B P Si AS B在水的形态 B-OH-在水中通常以阴离子存在 去除B的工艺图 调PH>9.4 B+OH- ROⅠ ROⅡ 抛光树脂的理化性能 聚合物骨架结构-----------------------------------------凝胶型交联聚苯乙烯 外观-------------------------------------------------------均匀的浅色球状颗粒 功能基-----------------------------------------------------------------R-(CH3)3N+ 出厂离子型式-----------------------------------------------------------------氯型 全交换容量 Cl-型 湿树脂-----------------------------------≥1.4mmol/ml 水份：Cl-型--------------------------------------------------------------43~48% 平均粒径-----------------------------------------------------------570±50微米 均一系数------------------------------------------------------------------------1.1 膨胀率（Cl-?OH-）-----------------------------------------------------≤20% 特性密度（Cl型）----------------------------------------------------------1.10 装载密度------------------------------------------------------- 675~700 Kg/m3 温度限制 OH-型------------------------------------------------------≤60℃ Cl-型------------------------------------------------------≤100℃ pH范围 （稳定 OH-型）-----------------------------------------0--14 （工作 OH-型）------------------------------------------ 水的温度(t)、电导率K、电阻率及温度系数K的关系 水的电导率、电阻率与溶解性固体的关系 超纯水系统的技术难点 UPW 难点 电阻率 18.2M?·cm TOC <1ppb SiO2 <50ppt BO3- <50ppt 质量好的树脂、质量好的膜 超纯水系统设计 系统供水方式