第二章电阻式传感器及检测电路第三节压阻式传感器.pptVIP

§2-3 压阻式传感器 一、压阻式传感器的结构及工作原理 压阻式传感器是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻，直接作为敏感元件而制成的传感器。 　　 优点：灵敏度高，横向效应小，滞后和蠕变小。 　　 缺点：温度稳定性差，非线性较大。 §2-3 压阻式传感器一、压阻式传感器的结构及原理 １、压阻效应 【压阻效应】沿半导体的某一轴向施加一定的载荷而产生应变时，其电阻率会发生变化，这种现象称为压阻效应。 半导体材料的应变与电阻的相对变化之间的关系如下 一、压阻式传感器的结构及原理  压阻效应 　　有： 　　则灵敏度为： 　 　 　　由于 K 值一般为70～160，而（1+2μ）约 为 1.6，故可以略去，则: 一、压阻式传感器的结构及原理 ２、扩散硅压阻器件 　　 扩散硅压阻器件是一个由四个扩散电阻构成的惠斯登电桥。 　　设计要求： 　　⑴、等臂电桥（四个桥臂电阻值相等）； 　　⑵、差动结构（电桥相邻两臂的压阻效应 大小相等符号相反）； 　　⑶、四个桥臂的温度系数相同。 这样的电桥为理想压阻电桥，桥臂电阻是应变ε和温度 t 的函数: 　　电桥电源既可用恒压电源也可用恒流电源。用恒压电源供电时，电桥输出为: 用恒流电源供电时，电桥输出为: 其中: 　　　　　　，　　　　　　 ， αt为电阻温度系数，kt为灵敏度温度系数。 一、压阻式传感器的结构及原理 扩散硅压阻器件 一、压阻式传感器的结构及原理 ３、压阻器件的特性 ⑴、温度性能 　　温度系数较大，当温度变化时，产生温漂，且压阻系数随温度而变化。 ⑵、线性度 　　在数百微应变范围内呈线性。 §2-3 压阻式传感器二、应用 压阻式压力传感器（固态压力传感器） 　其结构与应变式压力传感器类似，弹性元件为一块圆形硅膜片，在膜片上利用集成电路的工艺扩散四个阻值相等的硅电阻。 压阻式加速度传感器 　其结构与应变式加速度传感器类似，弹性元件为一硅制悬臂梁，在梁的根部利用集成电路的工艺扩散四个阻值相等的硅电阻，梁的自由端装有一惯性质量块用来感受加速度。 §2-3 压阻式传感器 三、测量桥路及温度补偿 １、恒流供电电桥 　　为了减少温度影响，压阻器件多采用恒流源供电。当采用等臂差动结构时，桥路输出为 　　　　 　 式中， 为温度引起的阻值变化。可见，此时桥路输出与温度无关。 三、测量桥路及温度补偿 ２、零点温度补偿 用串、并联电阻法进行补偿。 三、测量桥路及温度补偿零点温度补偿 串联电阻 RS 用于调零； 并联电阻 RP 用于补偿；其值通过计算求得。 在电源回路中串联一定数量的二极管可以对灵敏度温度补偿，因为二极管 PN 结的温度特性为负值，温度升高时，二极管正向压降减少，桥路输出电压增高。