FS4001系列.PDFVIP

FS400 1系列小流量气体 质量流量传感器是 专 门为各 类小流量气体 的测 量 和过程 控 制而设计 的 。这 一 系列传 感器均采 用本 公 司 自主 FS4001系列 研发 的微机 电系统（M EMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清 洁 气 体 。独 特 的封 装 技 术 使 之 可 用 于各 类 管 径 ， 成 本 低 、易 安 装 、不 需要温度压 力补 偿， 可替代容积 式或压 差式 的传统 流 量传 感器 。 (VA.4) 传感器灵敏度高，有极小 的始动流量 传感器芯片采用热质量流量计量， 无需温度压 力补偿，保证 了传 感器 的高精度计量 在单个芯片上实现 了多传感器集成，使传感器 的量程 比大大提高 传感器 的零点稳定度高 全量程高稳定性 全量程高精确度和优 良的重复性 低 功耗 低压损 响应 时间快 SIA RGO LT D. 技术参数 外形图 参数 数值 单位 最大流量 30，100，200，500，1000 sccm 量程比 100:1 精度 ±(1.5+0.5FS) % 重复性 ±0.25 % 零点输出漂移 ±30 mV R 输出漂移 ±0.12 %/℃ 响应时间 4，8，16，33，65，131 ms 工作电源 8~18VDC，50mA 输出方式 线性：RS232/模拟0.5~4.5VDC 5 4 3 2 1 最大流量压损 350 Pa 最大工作压力 0.5 MPa 工作温度 -10~+55 ℃ 储存温度 -20~+65 ℃ 输出引线定义 工作湿度 95%