薄膜材料与技术汇.ppt

低能电子衍射 低能电子衍射 考虑图中所示的几何构型以及对应于零级衍射和一级衍射信号，在衍射点的角度差为： 如果λ/a=1/3,则 现在假设a～2a,则沿 原子列方向的原子密 度减半。结果是在原 来一组斑点之间出现 新的一组衍射斑，导 致周期性“1/2级斑点”。 尽管根据LEED衍射图标定原子位置不是唯一的，但从真实空间原子的组态可以预言LEED衍射图案的对称性。图中给出了立方晶体（100）表面的层结构例子。在图中的字母P代表单胞为元胞，对于P(2*2)LEED衍射图具有额外的、半级斑点，图中字母C代表单胞在中心处有一额外散射点，它在衍射图中引起（1/2,1/2)斑点。 掠入射角X射线衍射 振动石英方法 两种厚度的典型值 这是一种动力学测量方法，通过沉积物使机械振动系统的惯性增加，从而减 小振动频率。石英作为压电共振器，以切向模式运动，具有一级振动频率为： 由于薄膜沉积，膜的质量由石英检测出来，此时，石英的厚度增加了与沉积质量等价的 值： 因此振动频率改变为： 光学监测 图1 图2 这一方法是基于生长膜会产生光学干涉现象，因此只用于透明膜的测量，用于溅射系统的光学监测的例子如图1所示。在膜生长过程中干涉强度的变化如图2所示。 光学膜厚度确定 干涉仪测量膜厚方法可以使用Fizeau盘来实现，Fizeau盘能够发生多种反射导致 一尖锐的干涉现象，干涉强度为： 上式给出总反射