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微纳光电子系统_第一章绪论
1.1 微光学引言
1.1 微光学引言
1.1.1 什么是微光学、MEMS/NEMS、iMS 和
微纳光电子系统 MOEMS?
微纳光电子系统
- 微光学：Micro-optics,是微米尺度上的光学，其中包括微米尺
度的光学表面微结构。
赖建军陈四海
- 物理意义上的微光学其单元尺寸已在光波长量级。常规光学的
主要理论和设计方法不适用于微光学或不能精确计算；常规的
集成光电子器件与微纳制造系 光学冷加工完全不适用于微光学制作。
- MEMS ：微机电系统（Microelectro mechanical systems) （美
Tel: 国）；微系统技术（欧洲）；微机械（日本）
Email: jjlai@mail.hust.edu.cn
- 特点：“小人国” – 外部观察：尺寸小，但功能相同；内部观
察：设计方法和工艺技术完全不同于常规机电系统。
MEMS ?
MEMS ?
Micro(small)
Electro(electric components/functionality)
Mechanical(mechanical components/functionality)
Systems(integrated, system-like functionality)
信息微系统 （iMS ）—是指外界信息通过MEMS或
-MOEMS：微光机电系统或光学MEMS,是微 MOEMS技术来实现功能或动作的系统，是广泛意义
光学与MEMS相结合的微系统技术。是当前
上的微系统。是集微型机构、微传感器、微执行器
性能最佳、精度最高、知识密集度最高的微 以及信号处理和控制电路甚至接口通讯和电源等集成
系统。 于一体的器件或系统。
输出
输入 微光学
微机械
等 气 、 声 、 光 、 力 如
微电器 ＭＥＭＳ ＋ 微光学 MOEMS 量 理 物 界 外 微传感器 微处理器
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