精密，超精密，加工.pptVIP

LODTM大型光学金刚石车床 可加工?1625?500、重量1360Kg的大型金属反射镜等大型零件 采用立式结构和空气轴承 刀具可以实现纳米级微位移 采用7路高分辨力双频激光测量系统，分辨力达到0.625nm，采用了误差补偿技术 为减小热变形的影响，机床各发热部件用大量恒温水冷却，水温度控制极其严格 整台机床用4个大空气弹簧支撑 微细加工的特点 微细加工是一个多学科的制造系统工程 (涉及到：分离技术、结合技术、高质量的材料、测试技术、环境技术、计算机技术、质量控制技术、可靠性技术等) 微细加工是一门多学科的综合高新技术 (遍及传统和非传统加工工艺范围) 平面工艺是微细加工的基础 (主要指：半导体基片、电子元件、电子线路、封装等一整套制造工艺技术) 微细加工与自动化技术密切相关 微细加工和检测技术一体化 (在位检测和在线检测) 微细加工的分类和基础 微细加工的分类： 分离加工 (切削加工、磨料加工、特种加工、复合加工等) 结合加工 (附着加工、注入加工、接合加工等) 变形加工 (力和热使