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37 1 光 学 技 术 Vol． 37 No． 1 第 卷第 期 2 0 1 1 1 OPTICAL TECHNIQUE Jan． 2011 年 月 文章编号:1002-1582 (2011)01-0097-04 * PECVD 技术制备光学减反射膜工艺探索 ， 张霄 杭凌侠 ( ， 7 10032) 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 西安 : PECVD K9 SiO 、SiN 、 SiO N