ybco超导薄膜的tfa-mod制备研究-study on tfa - mod preparation of ybco superconducting thin films.docx

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2018-05-28 发布于上海
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ybco超导薄膜的tfa-mod制备研究-study on tfa - mod preparation of ybco superconducting thin films.docx

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ybco超导薄膜的tfa-mod制备研究-study on tfa - mod preparation of ybco superconducting thin films

目录目录第一章概述 ........................................................................................................... 11.1 引言 .......................................................................................................... 11.2 高温超导薄膜的应用与发展 .................................................................. 11.3 YBCO 高温超导薄膜制备 3YBCO 结构特点 3YBCO 薄膜取向生长 41.3.3 基底和缓冲层的选择..................................................................... 51.3.4 YBCO 超导薄膜的制备方法 61.4 YBCO 超导薄膜的研究现状 81.5 论文的选题依据和研究方案 .................................................................. 9第二章实验方法和原理 ......................................................................................112.1 TFA-MOD 法制备 YBCO 薄膜的过程 112.1.1 MOD 方法原理 112.1.2 实验设备........................................................................................112.1.3 实验原料........................................................................................112.1.4 前驱溶液的合成........................................................................... 122.1.5 前驱膜的涂覆............................................................................... 132.1.6 常规 TFA-MOD 方法的热处理过程152.2 薄膜的分析测试方法及原理 ................................................................ 172.2.1 结构分析....................................................................................... 172.2.2 形貌分析....................................................................................... 182.2.3 电性能分析................................................................................... 19第三章TFA-MOD 方法生长 YBCO 薄膜工艺研究213.1 引言 ........................................................................................................ 213.2 TFA-MOD 前驱溶液的制备213.3 生长温度对 YBCO 结构和性能的影响223.3.1 生长温度对薄膜结构的影响....................................................... 233.3.2 生长温度对薄膜形貌的影响 ....................................................... 253.3.3 生长温度对电性能的影响........................................................... 263.4 不同单晶基片上 YBCO 薄膜的外延生长273.4.1 YSZ 单晶基片生长 YBCO 薄膜的结