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第二节透射电镜的成像原理【讲义】
* 第二节 透射电镜的成像原理 电子束与样品的相互作用 透射电镜的成像过程 样品的成像反差 生物样品的成像反差 透射电镜成像的原理 一、电子束与样品的相互作用 1.电子束与样品相互作用后产生的信息 样品 入射电子束 背散射电子 二次电子 俄歇电子 扫描电镜 小角度弹性散射电子 非弹性散射电子 透射电子 透射电镜 非弹性散射电子 大角度弹性散射电子 扫描透射电镜 吸收电流 阴极荧光 连续X射线 特征X射线 X射线能谱分析 2.与透射电镜成像有关的信息 入射电子束 样品 透射电子 非弹性散射电子 小角度弹性散射电子 吸收电子 原子核 透射电子 非弹性散射电子 小角度弹性散射电子 K L M 入射电子 (1)透射电子 因为透射电镜的样品是超薄切片,薄到足以 使一部分入射电子不受到阻碍而直接穿透, 这类电子被称为“透射电子”。 加速电压越高,透射电子的能量越大。所以 观察较厚的切片或活细胞要选用高压电镜 或超高压电镜,其加速电压达500kV以上, 甚至几千kV,而一般透射电镜的加速电压 为25~100kV。 (2)非弹性散射电子 当入射电子与样品的原子核周围的电子云相互作用时, 由于入射电子的速度比绕原子核运动的电子的速度快 得多,而二者质量却相同,所以互相碰撞时会重新分 配其总能量,使高速运动的入射电子的方向和速度发 生变化,即 “带有了样品的信息”。这种入射电子束 与样品的相互作用称为“非弹性散射”,而把作用后带 有样品信息的入射电子称为“非弹性散射电子”。 因为样品中电子的数目很多,从而产生的非弹性 散射电子的数目也很多,所以非弹性散射电子在成 像过程中起重要的作用: 一方面改变了入射电子的方向, 另一方面由于损失了一部分能量,致使图像模糊, 形成像差。 使样品尽量薄和尽量加大入射电子的能量可以降 低非弹性散射引起的像差。 (3)小角度弹性散射电子 入射电子与样品中的原子核相碰撞时,由于原子核 的质量比电子的质量大得多,会使快速运动的入射 电子偏斜,我们把这种现象叫“弹性散射”,而作用 后带有样品信息的入射电子被称为“弹性散射电子”, 但其能量的损失可忽略不计。 由于物镜光阑的直径只有20~70nm,所以偏斜角度 大于物镜接受角的弹性散射电子被挡住,而只有偏 斜角度小的弹性散射电子可通过物镜光阑,并参与 电子显微镜的成像过程。 二、透射电镜的成像过程 与光学显微镜相似,电镜中也有四种基本的 物理过程参与成像: 吸收 散射 干涉 衍射 1.吸收 光学显微镜成像主要是吸收作用,样品中 不同物质的吸收有差别,从而形成图像。 透射电镜中,样品是“薄膜”样品,吸收是 很少的,而且吸收在电镜样品中也是不允 许的。因为吸收将伴随着热量释放,薄膜 样品受热会烧毁的。 2.散射 在透射电镜中散射是最重要的成像机制。 一个高速自由电子打在薄膜样品上后,电子将和组成 样品的原子发生散射作用。 高速电子是和原子核相作用,由于原子核的质量比电 子大的多,入射电子与核发生弹性碰撞,即弹性散射。 入射电子不损失能量,但运动方向发生较大偏转 。 入射电子与样品中原子核外的一个电子发生碰撞时, 因质量相同,相互作用之后,将重分配能量。快速电 子将一部分能量交给核外电子,改变速度大小,同时 运动方向也发生改变,产生非弹性散射。 3.干涉 从波动学说来看,一个运动的电子可以看作是 一个电子波,它向着电子运动的方向以匀速的 并随时间作正弦变化的方式前进。 可以把电子和样品的作用,看做电子波经过样 品后形成了透射波和散射波。 如果物镜光阑让透射波和散射波同时通过,入 射电子波又是相干的,则电镜中的像就是这两 部分波受透镜场作用并相互干涉后合成的结果。 当样品很薄时,散射波相对入射波振幅基本不变而相 位有变化。由于物质的原子和电子结构没有两个入射 电子在穿过薄样品时具有完全相同的路径,即各电子 和样品作用的散射波和透射波的相位差不同,各相位 差为λ的奇数倍时,两者合成波为极小者;为λ的偶 数倍时,合成波为极大者。使合成波(干涉波)与透射 波在振幅上表现出差别,在最终的像中就会出现亮暗 不同的区域,这种反差叫做相位反差。透镜的球差和 失焦也会引起相位反差。 相位反差人眼看不
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