ITO废靶回收再生技术.pdfVIP

中国资源综合利用 年 月 第 期 ! 工艺研究 MF@= ABCG;DEBC MGPODBFB=C@UB V)@J@W)@G= ##$ ! $ 废靶 回收再生技术 # 侬健桃 黄 瀚 !广西冶金研究院广西 南宁 ’1**21 # 摘要 用磁控溅射法制备 膜所留下的 废靶料是一种经高压高温成型的铟 锡氧化物陶瓷烧 ! !$ !$ $ 结体# # # $ # 它耐腐蚀耐