S-场发射扫描电子显微镜培训材料.docVIP

S-4800场发射扫描电子显微镜培训材料 Hitach（日立） S-4800型扫描电子显微镜培训材料 一、注意事项： 1、 2、 严禁没有操作资格的人员操作电镜； 操作人员要严格按照操作规程进行操作，在仪器产生异常时要及时报 告所有事实； 3、 4、 5、 6、 7、 8、 培训加考核共6个半天。必须按时到场，认真学习，不允许半途离开。培训考核结束之后，每人进行操作的前两次必须有熟练人员陪同，并要求陪同人员在使用登记表上签字。 样品制备严格按照要求进行，特别是磁性样品； 严禁在实验室吃东西，保持实验室清洁卫生； 不允许在实验室内使用水槽； 禁止在实验室内使用产生大量粉尘的物质； 不得在实验室内大声喧哗、扰乱正常工作； 注意实验室内湿度应该在60%以下，注意下水管漏水情况。 电镜操作的第一前提是要保证人身安全，第二前提是保证仪器设备安全。 第一次培训内容：熟悉S-4800的开机、进样、取样、关机等主要步骤。 1、 介绍冷热场发射的扫描电镜（附件一及附件二）。冷场发射电镜特点，灯 丝不加热，引出电场，束流小，能量分散小，但需要高真空，有气体分子吸附。扫描电镜的基本原理。 2、 3、 4、 5、 6、 介绍S-4800及能谱的组成部分、电源控制。 。 进入控制主机桌面，双击图标进入S-4800的控制软件。 ，加电压，观察vext数值（例如3.8KV）， 如果跟上一次做完flashing之后的数值（例如3.7KV）差别小于0.2KV，则记录此值。如果与上次相比差别大于0.2KV（例如本次做完flashing后vext数值为4.0KV），则需再做一次flashing2，差值应该减小到0.2KV以内，记录此vext数值。 7、 8、 如何进样： 音，可以打开交换舱。装好样品，LOCK，拉出交换杆。关上交换舱。注 意样品杆一定要拉到底。 （2） 按EVAC（抽气）按钮，对交换舱进行抽气。注意观察ECV灯的示数，抽 完会有“嘀——”的响声。 （3） 按OPEN按钮，打开交换舱与真空舱之间的隔阀，打开后会有“嘀——” 的响声。 （4） 用进样杆把样品送入真空舱，注意一定要送到底。UNLOCK，用手推住交 换舱门，拉回样品杆，注意一定要拉到底。按CLOSE按钮，关闭隔阀， 听到“嘀——”的响声后可以进行下一步工作。 9、 确定被测样品的最高处在标准范围内，不能超出标准高度，也不能低太多； （1） 按交换舱上的AIR（放气）按钮，向交换舱充气，听到“嘀——”的声如何取样： （1） 按OPEN按钮，打开交换舱与真空舱之间的隔阀，打开后会有“嘀——” 的响声。把进样杆送到底，LOCK，用手推住交换舱舱门，拉回进样杆， 拉到底。注意观察样品台是否跟样品杆一起退出。 （2） 按CLOSE按钮，关闭隔阀。 （3） 按AIR按钮，向交换舱充气，听到“嘀——”的响声，打开舱门，取出 样品。 （4） 把样品杆拉回到底，关上舱门，按EVAC抽气。 进样每人练习2次。 10、 进样之后，点击控制软件中的On按钮，加高压（加速电压），一般加速电 压为10kV。日立工程师推荐是5KV以下。 11、 低倍（H/L按钮中的L）下寻找样品，高倍（H/L按钮中的H）下观测。放 大样品，寻找感兴趣的区域。 12、 软件中WD选择5.0mm，手动调节样品高度Z高度时要非常注意，千万不能使样品高度Z的数值过小，否则样品可能碰到物镜而对它造成损伤！这是最关键的问题！ 13、 点击Align按钮，进行各个光阑的对中调节。一般在低倍调节好束流对中， 其它倍数下不会变化。而其余光阑对中、消像散对中等需要在高倍数下进行对中。这是做出高质量照片的基本步骤。 14、 对图像进行聚焦、消像散操作，对亮度/对比度调节。 15、 扫描照片，可以采取多种扫描方式：快扫（Fast+capture）、慢扫（slow或 red+capture）、直接存储等。 16、 扫描结束后，按Home键，使样品台X、Y归零。手动把样品高度Z 调到8.0mm。去掉高压OFF。每次取样前确定步骤。 17、 现在可以按照前面取样步骤9取出样品。 从进样到加高压到取样每人练习一次。 18、 一天工作结束后，关闭主机、 第二次培训内容： 1、 复习开机步骤。 2、 如果需做Flashing，做一次。 3、 按前一次培训的步骤送入样品，调好高度。每人练习一次对中、聚焦、消 像散功能，在80K倍数下扫描一张图片。 4、 介绍软件中各个按钮的功能。加速电压（Vacc）的应用、样品记录（Disp、 Reg）、扫描模式（SE+BSE）的混合、样品电子旋转和机械旋转（R）、高度（Z）和倾斜角度（T）计算、第一聚光镜光阑大小选择、图片处理软件等。电镜硬件中的T旋钮和stage Lock按钮的功能。如果注重观察表面形貌，一般选择SE中的Up