200810-半导体物理实验教案-20101020修改.docVIP

《半导体物理》实验教案 微电子专业06级 赵秋明 2008年版 实验教案说明 本实验教案要结合实验指导书使用。 所列实验项目的教学内容依据实验指导书。 各课程的实验项目开出的先後顺序，依据各自的授课计划。 教案用于规范实验前的讲授内容的安排顺序： 5、 教案仅为讲述提纲，其中的一些具体内容讲述的详略可根据实际课堂情况加强或减轻。 微电子技术实验教案 半导体光敏效应器件观测实验项目 （设计性实验；实验学时 4h ） 教 案 课前准备： 1、检查实验设备是否准备就绪 2、检查实验用器材是否齐全 上课： 1、头五分钟（课前5分钟开始） 1)、依据过程登记表点名签到 2)、检收实验预习报告 2、讲述本次实验相关事项（共10~15分钟） 1)、重申实验安全注意事项 2)、介绍项目 （1）、简述实验项目意义与目的 a、实验项目意义 重点简述本实验对课程学习与在实践中的作用 强调设计性实验的特点 解释设计性实验加强学生对理论知识的理解、提高动手能力、 实际应用能力的作用 b、实验目的： 通过半导体光敏效应器件外部光电特性的测试，对半导体光敏特性进行观察和分析，深入理解掌握半导体光效应特性。 掌握利用常规仪器对半导体光敏效应器件基本特性参数进行观测的方法。 （2）、说明实验原理： 本实验通过检测光敏二极管受光照射时的导电特性的变化，来观察研究其光敏特性。基本原理是：预先对被测试的光敏二极管施加一定的反向偏置电压，然后向被测管照射不同光强的光，同时观测对应情况下被测器件上的电流、电压变化，这些变化可以反映该半导体器件所具有的光效应特性。 实验需要设计一适当的实验电路来进行。 （3）、说明实验要求 本实验要求实验者根据指导书给定的要求和条件，设计实验电路和试验方法，完 成实验电路搭建，然后在规定时间完成测试。之后要写出报告。 a、强调： 实验者可以参考指导书给出的参考电路，提倡自行设计，有所创新。 实验者必须完成规定的实验内容，做好记录，课后完成实验报告；试验报告的内容要求包含：实验方法、实验数据记录、对试验结果的分析计算、思考题的回答等内容。 b、提醒学生注意： a：注意实验条件的利用和掌握基本测试仪器的应用。 b: 掌握实验电路制作时间 C、强调对实验报告的撰写要求。 三、实验过程 1、注意实验中的各种情况，随时进行指导 2、记录好实验过程登记表 四、实验结束环节 检查签认实验数据 提醒学生对仪器设备复原，整理好工作面 关闭电源 附： 1、实验原理及其参考电路 本实验通过检测光敏二极管受光照射时的导电特性的变化，来观察研究其光敏特性。基本原理是：预先对被测试的光敏二极管施加一定的反向偏置电压，然后向被测管照射不同光强的光，同时观测对应情况下被测器件上的电流、电压变化，这些变化可以反映该半导体器件所具有的光效应特性。 实验需要设计一适当的实验电路来进行，电路主要包含两部分： 一个部分为可控光源部分，用以产生照射光，光强可调。还能通过改变照射源与光敏器件间的距离来改变照射光强； 一个部分是为被测光敏器件提供适当的电偏值，以便能将被测器件的光敏特性转换为V、A特性进行检测的偏值电路； 实验时调节光源以产生不同的光强，将该光源照射被检测的半导体光敏器件，实验人员分别检测实验电路中的光敏器件在不同光强照射下的电流导通变化情况，以确认电流是与光照呈对应关系的。并要加以分析和记录。 由于实验并未要求对光强度作定量计量，所以实验是定性的，要求对被测器件根据检测得到的参数，分析其相对于光强变化情况，做出趋势性的比较分析结论和便于观察分析示意性图表。 图4..1是供观测半导体光敏效应的原理性实验模型参考电路框图, 实验者可自行分析其工作原理。 实验者应当根据自己对实验要求的理解和测试量的获取方法，设计合适的实验电路。 VR:10KΩ R2 R1：100Ω ＋ R2：5.1KΩ VR R1 uA 6V直流 － 电压源