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真空的获得与测量 袁礼文光信02班 2012-12-102012-12-17 【实验目的】 1．熟悉一般真空技术的基本知识 2．掌握真空获得的过程及真空度的测量 【实验仪器】 膨胀法校准热偶式真空计高真空系统、ZDO-1型热偶真空计、ZDF-5227型真空计 【实验相关的物理背景】 真空技术初创于17世纪，当时，托里拆利(Torricelli)将一端密封的长管注满水银倒放在盛有水银的槽里时，发现了水银柱顶端产生了真空。所谓真空是指给定空间内低于一个大气压强的气体状态。在真空状态下，由于气体稀薄，分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减小，分子在一定时间内碰撞于表面上的次数亦相对减小，这导致其有一系列新的物化特性，高真空的绝缘性能好等等。 表征真空状态下气体稀薄程度的物理量称为真空度。单位体积内的分子数越少，气体压强越低，真空度越高。在ＭＫＳ单位制中，压强单位为牛顿／米2（Ｎ／ｍ2），1牛顿／米2＝1帕斯卡（Ｐａｓｃａｌ），简称为帕（Ｐａ）。由于习惯问题，历史上用毫米汞柱作压强单位来对真空度进行测量。后经第十届国际计量大会决定，用“帕”定义标准大气压。一标准大气压（ａｔｍ）＝1.0135×105（Ｐａ），标准大气压的1／760称为1托(Torr)。以“帕”规定的标准大气压是严格的，在数值上与以汞柱规定的“标准大气压”几乎相等，故1ｍｍＨｇ＝1。有些真空测量仪器仍用Torr作单位来表征真空度。 真空度的划分（不同程度的低气压空间的划分）与真空技术的发展历史密不可分。本世纪初，随着电子管的研究与生产的发展，逐步能够获得并测量范围在10-1～10-6Ｐａ内的高真空；大约到50年代，在表面物理和原子能科学等尖端技术的推动下，发展了范围在10-6～10-10Ｐａ内的超高真空；70年代进一步提高到低于10-10Ｐａ的极高真空。当今的真空技术已能获得和测量从大气到10-15Ｐａ的宽达20个数量级的真空度范围。 【实验原理】 真空技术基础 真空的物理特点 表征真空状态下气体稀薄程度的物理量称为真空度。单位体积内的分子数越少，气体压强越低，真空度越高。习惯上采用气体压强高低来表征真空度。在ＭＫＳ单位制中，压强单位为牛顿／米2（Ｎ／???2），1牛顿／米2＝1帕斯卡（Pascal），简称为帕（Pa）。由于习惯问题，历史上用毫米汞柱作压强单位来对真空度进行测量。后经第十届国际计量大会决定，用“帕”定义标准大气压。一标准大气压（atm）＝1.0135×105（Pa），标准大气压的1／760称为1托(Torr)。以“帕”规定的标准大气压是严格的，在数值上与以汞柱规定的“标准大气压”几乎相等，故1ｍｍＨｇ＝1。目前，ＭＫＳ单位制的应用处在推广和过渡阶段，考虑到习惯，有些真空测量仪器仍用Torr作单位来表征真空度。 真空度的划分（不同程度的低气压空间的划分）与真空技术的发展历史密不可分。自从17世纪托里拆利获得托氏真空，到19世纪爱迪生发明电灯泡的200多年间，真空技术经历了一个漫长的发展过程，此期间，人们只能获得105～103Ｐａ范围的粗真空及103～10-1Ｐａ范围的低真空。到了本世纪初，随着电子管的研究与生产的发展，逐步能够获得并测量范围在10-1～10-6Ｐａ内的高真空；大约到50年代，在表面物理和原子能科学等尖端技术的推动下，发展了范围在10-6～10-10Ｐａ内的超高真空；70年代进一步提高到低于10-10Ｐａ的极高真空。当今的真空技术已能获得和测量从大气到10-15Ｐａ的宽达20个数量级的真空度范围，并随着某些新技术、新材料、新工艺的应用和开拓，将进一步接近理想的真空状态。 真空的获得 真空的获得市指使用各类真空泵对容器进行的抽气过程。最常用的的真空泵是机械泵和油扩散泵。 （1）旋片式机械真空泵 机械泵是利用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空的装置。这类泵是周期性地增大或减少泵内空腔的体积，膨胀时与进气口相通，压缩是又正好与排气口相接，使被抽气体不断地流经泵内并排出泵外。如右图图1所示为旋片式机械泵，泵内有一圆柱形空腔，空腔上装着进气口管道和出气阀门，空腔内有一偏心安装的圆柱形转子，转子的顶端保持与空腔壁相接触，转子上开有两个槽，槽内安装二旋片，旋片间有一弹簧，于是当转子旋转式，两旋片的顶端始终沿着空腔的内壁滑动。 图1是机械泵工作过程的原理图。在旋转过程中，旋片始终将由空腔和转子间构成的弯月形体积划分为二部分（有时是三部分，如（d）），一部分是连通出口阀门的排气空腔；一部分是连通出口阀门的排气空腔；一部分是连通进气管的吸气空腔。图二中，（a）表示正在吸气，同时把上一工作周期内吸入的气体逐步压缩；（b）表示吸气截止（