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9.3 光纤传感器的应用 9.3.1 光纤位移传感器 1.反射式光强调制测量位移 由光纤输出的光照射到反射面上发生反射,其中一部分反射光返回光纤,测出反射光的光强,就能确定反射面位移情况。这种传感器可使用两根光纤,分别作传输发射光及接收光用;也可以用一根光纤同时承担两种功能。为增加光通量可采用光纤束,此方法测量范围在9?mm以内,其光强调制的示意如图所示。 接收光通量 与位移d的关系为 在位移输出曲线的前坡区,输出信号的强度增加得非常快,这一区域可以用来进行微米级的位移测量。在后坡区,信号的减弱约与探头和被测表面之间的距离平方成反比,可用于距离较远而灵敏度、线性度和精度要求不高的测量。在光峰区,信号达到最大值,其大小取决于被测物体的表面状态。所示这个区域可用于对物体的表面状态进行光学测量。 2.光纤开关与定尺寸检测装置 光纤开关与定尺寸检测装置是利用光纤中光强度的跳变来测出各种移动物体的极端位置,如定尺寸、定位、记数等。特别是用于小尺寸工件的某些尺寸的检测有其独特的优势。 标志孔 电路板标志检测 当光纤发出的光穿过标志孔时,若无反射,说明电路板方向放置正确。 光纤 耦合器 传输光纤 出射光纤 遮断型光纤光电开关 出射光纤 接收光纤 * 燕山大学电气工程学院 第9章 光纤传感器 第9章 光纤传感器 Fiber Optic Sensors 光纤传感器(FOS: Fiber Optical Sensor)是20世纪70年代中期发展起来的一种基于光导纤维的新型传感器。它是光纤和光通信技术迅速发展的产物,它与以电为基础的传感器有本质区别。光纤传感器用光作为敏感信息的载体,用光纤作为传递敏感信息的媒质。因此,它同时具有光纤及光学测量的特点。 概 论 光纤传感器的特点: ①电绝缘性能好。 ②抗电磁干扰能力强。 ③非侵入性。 ④高灵敏度。 ⑤容易实现对被测信号的远距离监控。 光纤传感器可测量位移、速度、加速度、液位、应变、压力、流量、振动、温度、电流、电压、磁场等物理量 9.1光纤传感器的基本知识 9.1.1 光纤的结构 光纤是光导纤维的简称,形状一般为圆柱形,材料是高纯度的石英玻璃为主,掺少量杂质锗、硼、磷等。光纤的结构如图所示。 纤芯的折射率比包层的折射率稍大,当满足一定条件时,光就被“束缚”在光纤里面传播。 9.1.2 光纤的传光原理 如图,根据几何光学理论,当光线以某一较小的入射角 ,由折射率为n1的光密物质射向折射率为n2的光疏物质(即n1>n2)时,则一部分入射光以折射角 折射入光疏物质,其余部分以 角度反射回光密物质,根据折射定律(斯涅尔定律),光折射和反射之间的关系为: 当光线的入射角 增大到某一角度 时,透射入光疏物质的折射光则沿界面传播,即 =90°,称此时的入射角 为临界角。那么,由斯涅尔定律得 临界角仅与介质的折射率的比值有关 当入射角 > 时,光线不会透过其界面,而全部反射到光密物质内部,也就是说光被全反射。根据这个原理,如图所示,只要使光线射入光纤端面的光与光轴的夹角 小于一定值,则入射到光纤纤芯和包层界面的 角就满足小于临界角 的条件,光线就射不出光纤的纤芯。光线在纤芯和包层的界面上不断地产生全反射而向前传播,光就能从光纤的一端以光速传播到另一端,这就是光纤传光的基本原理。 可以证明,该入射角为 光纤的“数值孔径”NA, 9.1.3 光纤的种类 1.按材料分类 1) 高纯度石英(SiO2)玻璃纤维 这种材料的光损耗比较小,在波长时,最低损耗约为0.47?dB/km。锗硅光纤,包层用硼硅材料,其损耗约为0.5?dB/km。 2) 多组分玻璃光纤 用常规玻璃制成,损耗也很低。如硼硅酸钠玻璃光纤,在波长时,最低损耗为3.4?dB/km。 3) 塑料光纤 用人工合成导光塑料制成,其损耗较大,当时,达到100~200?dB/km。但其重量轻,成本低,柔软性好,适用于短距离导光。 2.按折射率分类 分为阶跃折射率光纤和渐变折射率光纤,如图所示。在纤芯和包层的界面上,纤芯的折射率不随半径而变,但在纤芯与包层界面处折射率有突变的称为阶跃型;而光纤纤芯的折射率沿径向由中心向外呈抛物线由大渐小,至界面处与包层折射率一致的称为渐变型。 3.按光纤的传播模式分类 根据传输模数的不同,光纤可分为单模光纤和多模光纤。 什么是光纤的传播模式 光纤传输的光波,可以分解为沿纵轴向传播和沿横切向传播的两种平面波成分。后者在纤芯和包层的界面上会产生全反射。当它在横切向往返一次的相位变化为 的整倍数时,将形成驻波。形成驻波的光线组称为“模”;它是离散存在的,
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