FT-CZ2008单晶炉操作规程完全版a 85炉台.doc

浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第1页 共35页 生效日期：2008年5月30日 一、目 的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。 范 围： 适用于FT-CZ2008型单晶炉的操作。 图1 FT-CZ2008型单晶炉 图2 操作柜 依 据： 依据为直拉法生长硅单晶的工艺和FT-CZ2008型单晶炉的性能。 批 准 审 核 编 制 修改履历 页 码 内 容 状 态 备 注 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第2页 共35页 生效日期：2008年5月30日 权责单位： 本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。 作业流程： 作业内容： 1、作业准备 、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。 、准备好一次性洁净手套、、、 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第3页 共35页 生效日期：2008年5月30日 图3 【氩气】操作界面 、拧开上炉体螺母，将操作手柄上的【HOIST】旋钮打向UP位置点动上升炉筒至适当位置，将操作手柄上的【SEED】旋钮打向UP位置上升晶棒到翻板阀室以上，顺时针转动翻板阀手柄，关闭翻板阀。 图4 隔离阀手柄 、上升上炉体至上限位，上升晶体至上炉体内。转动晶棒托架，通过【SEED】UP/DOWN键调整晶棒的高度，使其与托架接触，但不承重。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第4页 共35页 生效日期：2008年5月30日 图5 晶棒托架 、打开上炉体定位开关，转动上炉体到一侧，放下上炉体定位开关，便于取晶棒。 图6 定位开关 、将操作手柄上的【SEED】按钮打向UP位置，上升晶棒，转动托架。再将【SEED】打向DOWN下降晶体，用晶棒专用车承接晶棒，每进入一格，用锁扣锁住。下降晶棒使其与晶棒车有充分接触，但不全部承重到晶棒车上。操作者一手拿住籽晶一手用钳子将籽晶从细颈处钳断，钳断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。 、将籽晶从重锤上取下，观察籽晶积渣情况和有无机械损伤，取下的籽晶放在指定场所，再将重锤升至付室内适当位置。 、将晶棒移到中转区，及时、准确的将晶棒编号写在晶棒上，观察晶棒颜色并做相应记录，待晶棒自然冷却后，由生产检验人员对晶棒进行各项参数检测并做好记录。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第5页 共35页 生效日期：2008年5月30日 图7 晶棒中转专用车 3、石墨件取出冷却 、石墨小件的取出 ①、打开上炉体定位开关，旋转到炉盖上方，合上上炉体定位开关，将操作手柄上的【HOIST】按钮打向DOWN位置下降上炉体至炉盖，拧紧上炉体螺母，将【HOIST】按钮打向UP位置，上升至限位，打开上炉体定位开关，再旋转炉盖到侧面，合上上炉体定位开关。 ②、戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢长板车上，注意要拿稳并轻放。 ③、观察石英坩埚的埚口积渣情况，然后戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起，使其松动，将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出，则直接放入不锈钢筒；若不能，则将先取出石英坩埚，然后将大块料拿出放入不锈钢筒，剩下的埚底料随石墨三瓣埚一并取出后，再将埚底料放入不锈钢筒内。取出埚底料时要观察埚底是否有渗硅情况并做相应记录。若出现闷炉等意外情况则用钳子像装料一样一块块取出，直至彻底取出。最后将不锈钢筒放在埚底料推车上移到指定地方，并写上单晶编号，自然冷却。冷却后对埚底料进行重量检测并作好记录。 图8 埚底料筒与埚底料推车 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第6页 共35页 生效日期：2008年5月30日 ④、戴好耐高温手套依次取出石墨三瓣埚、石墨埚托放在装石墨件的不锈钢长板车上，放上后要注意放稳当，观察三瓣埚是否有微裂纹并做相应记录。 ⑤、取出的石墨件一并放在不锈钢长板车上，在不锈钢长板车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。 ⑵、石墨大件的取出（一般3炉做一次，需作好