半导体晶圆制造中的先进生产计划方法-半导体工艺与制造.docVIP

半导体制造业中产品种类繁多，工序复杂，对设备的利用率要求较高，因而相对于其它制造也来说，生产计划的优化也较为复杂。本文讨论了目前半导体行业中常用的启发算法和基于线性规划的优化方法。中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 mY\Xbq,f*D zv*C~DO+Md-t.o0??? 关键词：半导体制造，生产计划，生产管理，线性规划 (@R)_UsL!`o_0 中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试t$g F@vS ????Advanced Planning in Semiconductor Manufacturin中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试DTq$nA(V;U ~*gP^G mnH0??????????????????????????? Qi Li and Mike Tao Zhang中国微电子网-集成电路设计,集成电路工艺,集成电路版图,半导体技术,半导体器件,芯片封装与测试 V2e,R p7y x.y,H\v7P0????????????????????? Intel Product (Shanghai) Ltd., Shanghai 20013