6-2激光在精密测量中的应用-激光衍射测长.pptVIP

上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第六章 激光在精密测量中的应用 §6.2 激光衍射测量 * §1.7 光的相干性 第一章 辐射理论概要 上一页 回首页 下一页 回末页 第一章 回目录 6.2.1 激光衍射测量原理 1.光的衍射现象，按衍射物和观察衍射条纹的屏幕(即衍射场)之间的位置关系一般分为两种类型：菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 单缝衍射测量的基本公式: , 当被测物体尺寸改变δ时，相当于狭缝尺寸改变δ，衍射条纹的位置也随之改变,可得 单缝衍射测量的分辨力、精度和量程: 2.单缝衍射测量 单缝衍射测量的原理：激光单缝衍射测量的基本原理是单缝夫琅和费衍射，图6-9为其原理图。条纹的光强可表示为： 图6-9 衍射测量原理图 6.2.1 激光衍射测量原理 3. 圆孔衍射测量 图（6-10）表示了圆孔的夫琅和费衍射原理，接收屏上衍射条纹的光强分布为 图6-10 圆孔的夫琅禾费衍射原理示意图 设中心亮斑(即第一暗环)的直径为d 6.2.2 激光衍射测量的方法 1. 间隙测量法 其基于单缝衍射的原理。作尺寸的比较测量,如图6-11(a)。作工件形状的轮廓测量，如图6-11(b)。作为应变传感器使用，如图6-11(c)。 图6-11 间隙测量法的应用 用间隙测量法测量位移,即测量狭缝宽度b的改变量?=b’-b,可采用绝对法,求出变化前后的两个缝宽b和b