人类通过工具认识世界-icaredbd.PPTVIP

TEM和SEM 透射成像 扫描成像 分辨率 价格 1947年贝尔实验室发明 世界第一只点接触晶体管 1957 at Texas Instruments – Jack Kilby Bardeen and Walter Brattain; Bell Labs 1947 第一个平面集成电路1961 at Fairchild – Robert Noyce 这才是采用硅基平面双极型集成电路（不是单个器件）制造中光刻工艺技术的开始! 仙童半导体第一只商品化原始平面晶体管 1959年研制成功 1952年，光刻工艺 达默早在1952年就指出，由半导体构成的晶体管，可以把它们组装在一块平板上而去掉之间的连线。 2.3 改造世界的光学仪器 自从1958年世界上出现第一块平面集成电路开始算起，在短短的五十年中，微电子技术以令世人震惊的速度突飞猛进地发展，创造了人间奇迹。人类社会、世界、科学、未来都离不开微电子。 作为微电子技术工艺基础的微光刻技术与微纳米加工技术是人类迄今为止所能达到的精度最高的加工技术。1980年左右曾经有人预言：光刻线宽不能小于1微米1989年曾经有预言：到1997年光刻技术将走到尽头1994年也曾经有比较乐观的长期预测，2007年线宽达到0.1微米（保守的预计为0.5微米） 这些预测都被光刻技术神话般的进步的步伐远远抛在后头 ！ 过去的几十