- 1、本文档共23页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
*/23 半导体器件原理 主讲人:仇志军 本部遗传楼309室Email: zjqiu@fudan.edu.cn */23 课程代码:INFO130023.03 (研讨性课程) 课程性质:专业必修 学分:4 时间:周一(6, 7)、周三(3, 4) 教室:Z2303 课程特点:公式多、微观物理过程多 课程要求:着重物理概念及物理模型;基本的推导和计算 课程考核:期末考试,期中考试,作业+研讨+考勤 课程简介 */23 课程简介 参考书目 曾树荣,《半导体器件物理基础》,北京大学出版社(2002). 刘树林,张华曹,柴长春,《半导体器件物理》,电子工业出版社(2005). 黄均鼐,汤庭鳌,《双极型与MOS半导体器件原理》. 施敏(美)著,黄振岗译,《半导体器件物理》,电子工业出版社(1987). S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, 2nd, John Wiley and Sons Inc. (1981). 刘永,张福海编著,《晶体管原理》,国防工业出版社(2002). S. Wolf, Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 3, Lattice Press (1995). */23 课程简介 固体物理 量子力学 统计物理 半导体物理 半导体材料 半导体器件 半导体工艺 半导体 集成电路 */23 第一章 绪论 一、半导体器件的分类 二、本课程的任务 三、本课程的内容 */23 一. 半导体器件的分类 电子器件 光电子器件 双极 M-S(肖特基二极管) 场效应 pn 双极型晶体管(BJT) npn、pnp HBT 晶闸管 npnp MOSFET MES 同质结 HEMT 结型 光 ? 电 信息 能量 (太阳电池) 光子 热 PC PV 本征 杂质 pn pin Schottky 异质结 热电堆 高莱管 测辐射热计 热释电 电 ? 光 LED LD 同质结 DHLD QWLD */23 一. 半导体器件的分类 1956年诺贝尔物理奖 W. Shockley J. Bardeen W. Brattain */23 一. 半导体器件的分类 p+ n p E B C 发射区 基区 集电区 n+ p n E B C 发射区 基区 集电区 E C B npn E C B pnp 双极型晶体管(BJT) Silicide Silicide 典型的Bipolar-NPN晶体管剖面图 */23 一. 半导体器件的分类 金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET) G D B S G D B S N沟道MOSFET(N-channel) 增强型NMOS 耗尽型NMOS Tox Silicide 典型的CMOS双阱工艺:NMOS和PMOS场效应晶体管剖面图 */23 一. 半导体器件的分类 Si STI well implantations Si gate oxide poly-crystalline Si Si extension implants STI Si nitride spacers junction implants Si Silicide SiON Si PSG CMP oxide deep contact shallow contact PR 典型MOSFET制造工艺流程示意图 */23 二、本课程的任务 Moore’s Law Transistors doubling every 18 months towards the billion-transistor microprocessor */23 Transistor Scaling Transistor dimensions scale to improve performance and power and to reduce cost per transistor 二、本课程的任务 Viruses Red Blood Cell */23 Economics of Moore’s Law Price per transistor goes DOWN Source: WSTS/Dataquest/Intel 103 104 105 106 107 108 109 1010 ’70 ’75 ’80 ’85 ’90 ’95 ’00 ’05 10 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 10-7 $ per Transistor As the number of transistors goes UP Transistors per Chip 二、
您可能关注的文档
- 班级活动创新-仁知教育[001].ppt
- 标准员培训[0001].ppt
- 材料科学、材料物理与化学-合肥学院.ppt
- 钏根放技通信vol.42.ppt
- 大学生人际交往-山东省日照师范学校—教务处.ppt
- 地质勘查资质数据报盘管理软件操作手册.ppt
- 第5讲穷人性格、富人性格及其高效技术干预操作——中华[001].ppt
- 第5讲穷人性格、富人性格及其高效技术干预操作——中华.ppt
- 第二章信息在计算机内的表示-经济管理教学中心门户网站后台.ppt
- 第二章信息在计算机内的表示-经济管理教学中心门户网站后台[001].ppt
- 地理-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 历史|湖北元月调考暨湖北省部分市州元月高三期末联考历史试卷及答案.docx
- 历史-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 数学(理科)-内蒙古锡林郭勒盟2023~2024学年第一学期高三年级全盟统考试题和答案.docx
- 历史丨金太阳24~239C湖北省十堰市2024届高三上学期1月调研考试历史试卷及答案.docx
- 青岛某高层办公楼地下防水施工方案(sbs卷材).docx
- 土木工程实习报告表格.doc
- 工程流体力学教学课件ppt作者闻建龙工程流体力学习题答案部分.doc
- 围手术期管理制度(1)_0.doc
- 2023年公务员多省联考《申论》题(内蒙古旗县卷)及参考答案.doc
1亿VIP精品文档
相关文档
最近下载
- 分数的产生和意义完整版课件.ppt
- 患者体位摆放管理.ppt
- 2024年全国版图知识竞赛(中小学组)试题汇总(附解析).pdf VIP
- 2024年湖北省八市高三(3月)联考思想政治试卷(含答案).docx
- 2024年天津市专业技术人员继续教育公需课考试题+答案(四套全).pdf VIP
- 青少年冒险问卷-冒险行为量表.docx VIP
- Unit 6 Topic 3 Section C 示范公开课教学课件【七年级英语下册仁爱版】.pptx VIP
- 茶道茶文化宣传PPT模板.pptx
- KTS442全站仪说明书.pdf
- Unit 6 Topic 1 Section C 示范公开课教学课件【七年级英语下册仁爱版】.pptx VIP
文档评论(0)