行业标准多晶硅生产用瓷环送审稿.DOC

PAGE 2 PAGE \* MERGEFORMAT 2 行业标准《多晶硅生产用瓷环》（送审稿） 编制说明 一、工作简况 1、项目简介 目前，我国生产多晶硅仍以西门子法为主。西门子法生产多晶硅过程中，需要使用大量的瓷环，以达到绝缘、隔热的作用，确保设备的顺利运行。平均每生产1吨多晶硅，就需要0.2-0.8个瓷环。瓷环在多晶硅生产过程中直接与高纯原料接触。瓷环在高温生产条件下，其内部含有的杂质成分将逐渐挥发，影响多晶硅质量。因此，多晶硅生产对瓷环具有严格的要求。本标准的制定有利于规范多晶硅生产用瓷环的产品质量，为多晶硅生产用关键耗材的选择提供可靠依据，促进国产多晶硅产品质量的提升和成本降低。 2、任务来源 根据《关于下达2017年协会标准制修订计划的通知》（中色协科字[2017]8号）的要求，由江苏中能硅业科技发展有限公司负责起草《多晶硅生产用瓷环》行业标准，计划编号：2016-021-T/CNIA，要求于2018年完成。 3、项目承接单位简况 江苏中能硅业科技发展有限公司（以下简称“中能硅业”），目前是世界上单体规模最大的集研发、生产、销售、服务于一体的高纯多晶硅新能源企业，系香港上市公司保利协鑫能源控股有限公司（HK3800）全资控股子公司。 于2006年在徐州经济开发区，建成年产1500吨多晶硅生产线，并于2007年顺利投产。目前产能6.5万吨/年，位列全国第一，公司生产的多晶硅产品质量达到国家太阳能一级或电子级多晶硅产品的要求,拥有一座独立综合性实验大楼，可以完成多晶硅企业近百项分析项目的检测任务，并于2016年11月份通过CNAS认可，认证项目共59项。 4、主要工作过程 2016年11月18日，2016年度全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会年会在盐召开。在这次会议上任务落实《太阳能电池用硅单晶》等11项标准项目，其中《多晶硅生产用磁环》成功立项。 公司领导非常重视标准的建设，2017年开始，公司高层领导牵头组织成立标准起草工作组，由质检中心、生产部、品管部与生产分厂相关人员组成。根据工信部和有色标委会文件精神要求，结合江苏中能使用经验，通过查阅大量的文献，调研和调查相关客户的质量要求，按照全国有色金属标准委员会有色标准的编制原则、框架要求和国家的法律法规，编制完成了《多晶硅生产用瓷环》讨论稿。 2017年10月26日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在广东省东莞市召开《多晶硅生产用瓷环》标准第一次工作会议（讨论会），专家会上指出：a标准名称“多晶硅生产用瓷环”建议更改为“多晶硅生产还原炉电极用瓷环”； b规范性引用文件应增加“冷热交替强度变化相关标准”，涉及使用寿命； c 4.1外观里描述的“变形”应更改为直径变化，如“50±2 mm”； d 第8节“鉴定检验”改为“形式检验”。 根据各项意见修改了《多晶硅生产用瓷环》初稿后，在2018年4月24日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在北京市召开《多晶硅生产用瓷环》标准第二次讨论会。根据会议精神从以下各点修改： 1中范围直接定义本标准适用于多晶硅生产用氮化硅瓷环； 2按规定引用标准； 3分类：将“功能”改为“结构”； 4、4.1 外观中变形等无法准确定义的描述删除，改成不允许有肉眼可见裂纹、气泡等； 5、4.2尺寸改为“按供需双方协定的图纸尺寸、精度要求加工”； 6、5.1组批中将同等级、型号、同一天到货、同一生产周期删除； 7、5.2 抽样依据的标准需在第二部分引用文件中体现； 8、5.4 采用相应精度的测量工具测定尺寸 另外还指出出厂检验和鉴定检验无需分开描述，产品标准是供需双方共同遵守的；建议征求供应商和行业内各使用方的意见，包括抽样、指标参数的设定，让供应商参与标准的编制；抽样方法可不参照2828.1的要求，可直接规定抽样量，考虑有些检测项目是破坏性的，成本较高，可以尽量减小抽样量。 最后增加一项“订货单文件” ； 根据以上的要求，与供货方北京中材沟通，请其提供检测数据，完成审定稿的修改，后发送给使用方黄河上游水电开发有限责任公司、内蒙古神舟硅业、新特能源、亚洲硅业（青海）有限公司、新疆大全、洛阳中硅，以及供货方北京中材征求意见，均无意见回复。 序号 体积密度 g/cm3 抗压强度 Mpa 断裂韧性(Mpa·m1/2) 硬度(HV)Gpa 热膨胀系数(室温～500℃)×10-6/℃ 击穿电压（kV） 备注 中材1 3.26 725 6.4 14.5 3.38 18.2 中材2 3.25 734 6.5 14.3 3.39 18.3 中材3 3.24 746 6.2 14.7 3.43 18.6 中材4 3.25 726 6.3 14.6 3.4 17.9 中材5 3.24 747 6.3 14.8 3.36 19.2