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课 程 设 计
课程名称 微电子器件工艺课程设计
题目名称 PNP双极型晶体管的设计
学生学院___ 材料与能源学院___ _
专业班级 08电子材料1班
学 号 3108007452
学生姓名____ 123 __ _
指导教师____ 魏爱香、何玉定_ ___
2011 年 6 月
广东工业大学课程设计任务书
一、课程设计的内容
设计一个均匀掺杂的pn p型硅双极晶体管,满足T=300K时,基区掺杂浓度为NB=1016cm-3,`共发射极电流增益β=50。BVCEO=60V,设计时应尽量减小基区宽度调制效应的影响,假设经验参数为年n=3)
二、课程设计的要求与数据
1.了解晶体管设计的一般步骤和设计原则
2.根据设计指标设计材料参数,包括发射区、基区和集电区掺杂浓度NE, NB,和NC, 根据各区的掺杂浓度确定少子的扩散系数,迁移率,扩散长度和寿命等。
3.根据主要参数的设计指标确定器件的纵向结构参数,包括集电区厚度Wc,基本宽度Wb,发射区宽度We和扩散结深Xjc, 发射结结深Xje等。
4.根据扩散结深Xjc, 发射结结深Xje等确定基区和发射区预扩散和再扩散的扩散温度和扩散时间;由扩散时间确定氧化层的氧化温度、氧化厚度和氧化时间。
5.根据设计指标确定器件的图形结构,设计器件的图形尺寸,绘制出基区、发射区和金属接触孔的光刻版图。
6. 根据现有工艺条件,制定详细的工艺实施方案。
7.撰写设计报告
三、课程设计应完成的工作
1. 材料参数设计
2.晶体管纵向结构设计
3.晶体管的横向结构设计(设计光刻基区、发射区和金属化的掩膜版图形)
4.工艺参数设计和工艺操作步骤
5.总结工艺流程和工艺参数
6. 写设计报告
四、课程设计进程安排
序号
设计各阶段内容
地点
起止日期
1
教师布置设计任务,讲解设计要求和方法
教1-401
2011.6.6
2
学生熟悉设计任务,进行资料查阅和整体设计方案的制定
图书馆,
教1-401
2011.6.7
3
设计晶体管的各区材料参数和结构参数设计
图书馆,
教1-401
2011 .6.8
4.
教师集中辅导,分析材料参数和结构设计中存在的主要问题
教1-407
2011.6.9
5
晶体管工艺参数设计,
实验室
教1-402
2100.6.10-
2011.6.11
6
绘制光刻基区、发射区和金属化的版图
实验室
教1-402
2011.6.12
2011.6.13
8
教师集中辅导,分析工艺设计中存在的主要问题
实验室
教1-322
2011.6.14
9
总结设计结果,写设计报告
实验室
教1-322
2011.6.15
10
写课程设计报告
图书馆,
宿室
2011.6.16
11
教师组织验收,提问答辩
实验室
2011.6.17
五、应收集的资料及主要参考文献
1.《半导体器件基础》Robert F. Pierret著,黄如译,电子工业出版社,2004.
2.《半导体物理与器件》 赵毅强等译,电子工业出版社,2005年.
3.《硅集成电路工艺基础》,关旭东编著,北京大学出版社,2005年.
发出任务书日期: 2011年 6 月 6日 指导教师签名:
计划完成日期: 2011年 6月 17日 基层教学单位责任人签章:
主管院长签章:
目 录
一、课程设计目的与任务 …………………………………………………… 2
二、课程设计时间 …………………………………………………………… 2
三、课程设计的基本内容………………………………………………………2
3.1 微电子器件与工艺课程设计――npn双极型晶体管的设计…………………2
3.2 课程设计的主要内容:……………………………………………………… 2
四、课程设计原理…………………………………………………………………3
五、工艺参数设计…………………………………………………………………3
5.1 晶体管设计的一般步骤:…………………………………………………… 3
5.2 材料参数计算………………………………………………………………… 4
5.2.1 各区掺杂浓度及相关参数的计算………………………………………… 4
5.2.2 集电区厚度Wc的选择………………………………………………………8
5.2.3 基区宽度WB………………………………………………………………… 8
5.2.4 晶体管的横向设计………………………………………………………… 11
晶体管横向结构参数的选择……………………………………………11
5.3 工艺参数设计……………
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