【毕业论文】一种谐振式MEMS器件微弱电容检测设计.doc

滨江学院 毕业论文(设计) 题 目 一种谐振式MEMS器件微弱电容检测设计 院 系 电子工程系 专 业 电子科学与技术 学生姓名 学 号 20082321902 指导教师 二Ｏ一二 年 六 月 二 日 目 录 TOC \o "1-3" \h \u HYPERLINK \l _Toc18492 1.引言 PAGEREF _Toc18492 1 HYPERLINK \l _Toc19397 1.1 设计背景及意义 PAGEREF _Toc19397 1 HYPERLINK \l _Toc27164 1.2 研究主要内容 PAGEREF _Toc27164 1 HYPERLINK \l _Toc20275 2.微弱小电容的前端检测电路设计 PAGEREF _Toc20275 2 HYPERLINK \l _Toc28367 2.1 界面检测方案比较 PAGEREF _Toc28367 2 HYPERLINK \l _Toc13765 2.1.1 界面方案的介绍 PAGEREF _Toc13765 2 HYPERLINK \l _Toc30772 2.1.2 与现有技术相比的优点 PAGEREF _Toc30772 2 HYPERLINK \l _Toc4324 2.2 界面方案的实施 PAGEREF _Toc4324 2 HYPERLINK \l _Toc29964 2.2.1 本论文的方案原理 PAGEREF _Toc29964 2 HYPERLINK \l _Toc4960 3.幅度测量电路系统的硬件设计 PAGEREF _Toc4960 7 HYPERLINK \l _Toc6063 3.1 幅度测量的原理框图 PAGEREF _Toc6063 7 HYPERLINK \l _Toc28110 3.2 整流电路及低通滤波电路模块 PAGEREF _Toc28110 8 HYPERLINK \l _Toc32632 3.2.1 整流电路模块 PAGEREF _Toc32632 8 HYPERLINK \l _Toc5845 3.2.2 低通滤波电路模块 PAGEREF _Toc5845 9 HYPERLINK \l _Toc4704 3.3 单片机AD转换电路设计模块 PAGEREF _Toc4704 11 HYPERLINK \l _Toc9929 3.3.1 单片机的选择及性能简介 PAGEREF _Toc9929 11 HYPERLINK \l _Toc12450 3.3.2 ADC0804芯片及原理介绍 PAGEREF _Toc12450 11 HYPERLINK \l _Toc26955 3.3.3 单片机与AD转换器连接原理图 PAGEREF _Toc26955 13 HYPERLINK \l _Toc31332 3.4 LCD幅度显示 PAGEREF _Toc31332 14 HYPERLINK \l _Toc7371 3.4.1 引脚界面说明 PAGEREF _Toc7371 14 HYPERLINK \l _Toc24499 3.4.2 指令介绍 PAGEREF _Toc24499 15 HYPERLINK \l _Toc22291 3.4.3 单片机LCD连接显示原理图 PAGEREF _Toc22291 15 HYPERLINK \l _Toc13655 4.频率测量电路系统的硬件设计 PAGEREF _Toc13655 16 HYPERLINK \l _Toc32592 4.1 系统的原理框图 PAGEREF _Toc32592 16 HYPERLINK \l _Toc7495 4.2 正弦波转方波及方波调幅电路模块 PAGEREF _Toc7495 17 HYPERLINK \l _Toc4398 4.2.1 正弦波转方波电路模块 PAGEREF _Toc4398 17 HYPERLINK \l _Toc18375 4.3 单片机测量频率模块 PAGEREF _Toc18375 19 HYPERLINK \l _Toc14847 4.3.1 单片机定时器设置 PAGEREF _Toc14847 19 HYPERLINK \l _Toc31355 4.3.2