薄膜基体复合体系在轴对称载荷作用下应力分析.docVIP

薄膜基体复合体系在轴对称载荷作用下应力分析 　　【摘要】压痕法测定薄膜/基体界面结合强度已得到广泛应用,但薄膜/基体复合体系在压头作用下的机理还有待研究,本文应用弹性力学方法建立了薄膜/基体在压头作用的力学模型,采用汉克尔积分变换理论得到了薄膜/基体复合体系在轴对称载荷作用下的应力和位移计算的理论公式,为进一步研究压痕机理奠定了基础。 　　【关键词】薄膜 基体 轴对称载荷 应力 　　【中图分类号】O484 【文献标识码】A 【文章编号】1009-9646(2008)11(a)-0141-03 　　 　　1 引言 　　用压痕法测定薄膜/基体复合体系的力学性能由来已久。自上世纪60 年代初开始定量地研究陶瓷材料在压入过程中裂纹萌生和扩展的规律,到上世纪80 年代初期获得了卓越的研究成果。加之对两相材料裂纹产生和扩展规律的描述,所有这些均为后续薄膜/基体复合体系界面结合强度的表征提供了强有力的理论和实验基础[1]。纳米压入技术的出现为薄膜力学性能的表征提供了强有力的工具,载荷和位移分辨率大大提高,可动态观察压痕周围薄膜材料的变形形貌,获得压入尺寸的精确数值。通过连续记录压入过程中位移和载荷变化的数值,将硬度作为压痕深度的函数,大大提高硬度的测试精度,还可以测得弹性模量、结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等数据,能够实现边加载边测量,从而为自动化、数字化检测创造了有利条件[2]。 　　薄膜/基体复合体系在压头作用下的应力分析对其在压入过程中的复杂的力学行为进行简化分析至关重要,可以为建立压痕法测定薄膜/基体界面结合强度的模型提供理论依据。本文应用弹性力学方法研究薄膜/基体复合体系在轴对称载荷作用下的应力(对薄膜本身属于外应力,即外力作用下薄膜内产生的应力和位移,为进一步研究压痕机理奠定基础。 　　 　　2 空间轴对称弹性力学问题的基本方程与解法 　　在弹性力学空间问题中,若物体的几何形状、约束情况和所受载荷都对称于某一轴,则所有应力分量、应变分量、位移分量也对称于这一轴,这种空间问题称为空间轴对称问题[3]。对于空间轴对称问题,通常用柱坐标(r,θ,z)求解,若弹性体关于z轴对称,则所有应力分量、应变分量、位移分量只是r和z的函数,与θ无关。 　　当不计体力时,用应力求解空间轴对称问题的相容方程为: 　　(1) 　　式中:为径向正应力、环向正应力、轴向正应力和切应力;ν为材料的泊松比; 　　 　　不计体力时平衡方程为: 　　 (2) 　　引用应力函数(r,z),它与应力分量的关系为: 　　(3) 　　应力分量应满足相容方程和平衡方程,将式(3)代入(1)、(2)后要求: 　　(4) 　　即应力函数必须为双调和函数。将位移分量用应力函数表示: 　　 (5) 　　式中:u(r,z)、w(r,z)分别为径向和轴向位移分量。 　　于是可见,只须找到恰当的双调和函数(r,z),使得由此得到的位移分量和应力分量满足位移边界条件和应力边界条件,即可得到应力分量和位移分量。对于实际问题,关键在于寻求应力函数,采用汉克尔积分变换理论可为寻求圆柱坐标下双调和应力函数提供一种通用形式[4]。 　　根据汉克尔积分变换理论[5],可求得应力函数如下: 　　(6) 　　式中为积分变量,系数A、B、C、D为由边界条件确定,J0(r)为第一类零阶贝赛尔函数。将(6)代入式(3)和(5),可得到应力分量与位移分量的一般表达式。 　　(7) 　　式中:J1(r)为第一类一阶贝赛尔函数。 　　上式适用于任何类型的空间轴对称问题,只要根据轴对称问题的性质,利用边界条件确定出待定系数A、B、C、D,就可应用贝赛尔函数的无穷积分公式求出解析解或应用数值积分方法求出近似解答。 　　 　　3 半空间体在轴对称载荷作用下的应力和位移 　　对于如图1所示无限大弹性半空间体上受轴对称垂直载荷q(r)作用的情形,考察其边界条件。 　　在弹性半空间体表面(z=0)上,应力边界条件为: 　　 (8) 　　当r与z趋于无穷大时,所有应力和位移分量都趋近于零,则 　　 (9) 　　利用式(7)-(9)可得轴对称垂直载荷作用下的应力和位移: 　　 (10) 　　式是: 　　 　　由式(10)可知,当轴对称垂直载荷q(r)已知时,就可得到解析解。该方法可以用于任意轴对称空间问题,当问题复杂时可用数值积分方法计算,便于编程;此方法的最大优点是避免了寻求位移函数或应力函数的困难。 　　 　　4 薄膜/基体在轴对称载荷作用下的应力 　　薄膜/基体系统可看成双层半空间连续体[6],如图2所示,上层为厚度h的薄膜,下层为一个半空间基体。假设薄膜与基体的弹性参数分别为Ef、νf和Es、νs,在薄膜与基体的粘接界面面