电子束蒸发倾斜沉积氧化铝薄膜结构与性质研究-电子信息材料与元器件专业论文.docx

摘 要 万方数据 摘 要 航空发动机被誉为飞机的心脏，同时，也是我国航空工业研究的重点。近年 来，随着以高温合金为代表的尖端材料技术和以叶片加工为代表的高端制造技术 的发展，对发动机叶片状态参数测试的需求也变得越来越迫切。在所有的测量技 术中，与叶片一体化集成的薄膜传感器最为理想，它具有：质量轻、对叶片结构 强度损伤小、对流道扰动小等优点，因而成为现代航空发动机测试的最先进技术。 然而，航空发动机的工作环境非常恶劣，叶片不仅承受着很大的压力和严重的气 流冲刷，而且燃气涡轮发动机的工作温度超过 1000 ℃。为了确保传感器能在如此 环境中运行，不仅要求薄膜传感器必须具有良好的附着力，更为重要的是：由于 叶片为导电的金属，为了确保传感器正常工作，必须确保即使在高温下薄膜传感 器与金属叶片之间也具有良好的电绝缘特性。因此，在金属叶片与传感器之间起 电学隔离作用的绝缘层薄膜就成为薄膜传感器研制的关键。本论文以我国航空发 动机叶片状态参数测试的需要为背景，针对与叶片一体化集成的薄膜传感器的研 制任务，围绕绝缘层薄膜制备技术而开展了研究工作，为薄膜传感器研制提供了 关键技术支持。 氧化铝（Al2O3）薄膜具有良好的化学和机械稳定性、且耐磨性好、硬度大、 熔点高、介电常数高、抗辐照损伤能力强，因此，广泛应用在微电子器件、光学 涂层、保护层、高速切削工具中。并且因为 Al2O3 的禁带宽度约 9 eV，是介质材 料中禁带宽度较大的材料，Al2O3 在高温下的电阻率较高。因此，本论文选择 Al2O3 作为金属叶片与传感器之间绝缘层材料，采用电子束蒸发沉积 Al2O3 薄膜，在系统 研究了 Al2O3 薄膜微观结构演化的基础上，详细探讨了 Al2O3 薄膜微观结构与薄膜 孔隙率、热导率、电导率等之间的关系，并探索了绝缘层薄膜内应力的调控方法， 通过不同结构、不同材料介质薄膜的组合，提出了高温绝缘性能良好的绝缘层薄 膜构建方法，为金属叶片与传感器之间绝缘层制备奠定了技术基础。本论文的研 究工作包括以下几个部分： （1）采用电子束蒸发制备 Al2O3 薄膜，采用倾斜沉积技术（OAD）调控 Al2O3 薄膜微观结构，系统研究了倾斜角度、沉积温度、沉积速率、薄膜厚度等对 Al2O3 薄膜表面粗糙度、晶粒取向特性等微观结构的影响。探讨不同微观结构 Al2O3 薄膜 的孔隙率，利用包络线法和柯西色散关系拟合计算出波长 400 nm~800 nm 范围内 的折射率，使用 Bruggeman 有效介质近似理论（BEMA）来计算其有效孔隙率， 进而得出有效孔隙率随不同的倾斜角度，不同的沉积温度的变化关系。 I  （2）在 Al2O3 薄膜微观结构有效调控的基础上，利用 Stoney 方程系统研究了 不同微观结构 Al2O3 薄膜的残余应力，阐明了沉积温度、沉积速率、薄膜厚度等对 Al2O3 薄膜残余应力的影响规律；并且利用 3ω 方法测量了不同厚度、不同倾斜角 度沉积的 Al2O3 薄膜热导率，从而优化了薄膜沉积的倾斜角度，获得了较小应力和 较低热导率的 Al2O3 薄膜，为 Al2O3 薄膜应力及热导率调控奠定了基础。 （3）测量了不同微观结构 Al2O3 薄膜的绝缘性能，通过 Al2O3 薄膜 I-V 特性 曲线的测试，利用欧姆定律计算 Al2O3 薄膜的电导率 σ 和电阻率 ρ，得出了所沉积 Al2O3 薄膜电导特性与倾斜角度的关系，为 Al2O3 薄膜高温绝缘性能研究起到指导 作用。 （4）根据倾斜沉积 MgO 薄膜的择优取向特点，本论文采用了电子束蒸发倾 斜沉积制备了 MgO 薄膜作为缓冲层和填充层，分析了倾斜沉积 MgO 薄膜的微观 结构，研究了倾斜角度对 MgO 薄膜织构的影响，利用 Stoney 方程研究了不同微观 结构 MgO 薄膜的残余应力；在此基础上，采用 Al2O3 和 MgO 进行了不同形式的 组合，分析了其 I-V 特性，探索了通过不同材料复合构建绝缘层的可行性。 （5）通过对 Al2O3/MgO“复合绝缘层”的研究，显示：与单一绝缘层相比， 复合绝缘层的综合性能有很大提升。但鉴于 MgO 的潮解问题，本论文最终采用不 同微观结构 Al2O3 薄膜进行组合，形成复合绝缘层。在 300 K~1273 K 温度范围， 获得了高温绝缘性能良好的绝缘层薄膜，满足了与叶片一体化集成薄膜传感器研 制的需要，探索出了与叶片一体化集成薄膜传感器绝缘层的构建方法，并最终将 该复合绝缘层设计思想应用于在 DZ4 合金叶片表面所研制的薄膜传感器试验中， 在 DZ4 合金叶片表面成功制备出厚度约为 30 μm 的 Al2O3 复合绝缘层薄膜，已成 为本实验室航空发动机专用薄膜传感器研制的标准技术方法。 关键词：Al2O3，倾斜沉积技术，有效孔隙率，残余应力