形貌分析sem.pptxVIP

扫描电子显微镜;扫描电镜分析;电子束与固体样品作用和产生的信号 ;（1）背散射电子：指被固体样品的原子核反弹回来的一部分反射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。它的能量较高，基本上不受电场的作用而直接进入检测器。散射强度取决于原子序数和试样的表面形貌。用于扫描电镜的成像。 ;（3）吸收电子：入射电子进入样品之后，经过多次非弹性散射，使其能量基本耗散，最后被样品吸收的电子。吸收电子信号的强度与接收到的背散射及二次电子信号强度互补，若把吸收电子信号调制成图像，则它的衬度恰好和二次电子或背散电子相反。;透射电子 ;在扫描电镜中，由电子激发产生的主要信号的信息深度： 俄歇电子 1 nm (0.5-2 nm)； 二次电子 5-50 nm 背散射电子 50-500 nm； X射线 0.1-1μm;各种信息分辨率比较;二次电子电子象;二次电子象的分辨率; ;二次电子象的衬度;入射角关系;二次电子强度与入射角的关系;二次电子信号与角度关系;样品成份的差异;样品表面与检测器的位置关系;充电现象;背散射电子;背散射电子象;原子序数影响;3．成分衬度 背散射电子产额与原子序数关系: 当Ep = 20keV以下，则 η= -0.0254 + 0.016Z -1.86×10－4Z2+8.3×10－7Z3 设有两平坦相邻区域，分别由Z1 和Z2 纯元素组成， 且 Z2 Z1 则衬度 C = = S 为检测信号强度 ? 为背散射电子强度 ;背散射电子象;背散射电子象信息; 二次电子象与背散射电子象的比较 二次电子象 背散射象 主要利用 形貌衬度 成分衬度 收集极 +250－500V －50V 分辨率 高 较差 无阴影 有阴影 信号大，信噪比好 ;SE;附件功能;能谱分析;波谱分析;电子能量损失谱分析;仪器结构; 1．放大倍数 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系： (若荧光屏画面面积为10×10cm2) 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2 ;2．分辨率 ? 样品上可以分辨的两个邻近的质点或线条间的距离。 如何测量：拍摄图象上，亮区间最小暗间隙宽度 除以放大倍数。 影响分辨率的主要因素： △ 初级束斑：分辨率不可能小于初级束斑 △ 入射电子在样品中的散射效应 △ 对比度 ;3 SEM的景深： 对于SEM，虽没有实际的成象透镜，但景深的意义是相同的。 在D深度范围内，中心处为最佳聚焦 当dp 最小可分辨时，在D深度范围内均可清晰成象。 dp / 2 = Dαo/ 2 D = dp / αo αo一般为1mrad 故：景深为最小可分辨的1000倍;成像原理;电子枪;热发射源 当温度超过一定值时，有较多的电子具有克服表面势垒 (功函数φ) 的动能而逃离金属射出。 J = AT2exp(-φ/kT)