氮化镓-海威华芯.PDF

成都海威华芯科技有限公司6 吋第二代/第三代半导体集成电路芯片生产线项目砷化镓、氮化镓 半导体芯片生产线竣工环境保护验收（噪声和固体废物）监测（调查）报告 成都海威华芯科技有限公司6 吋第二代/第三 代半导体集成电路芯片生产线项目砷化镓、氮 化镓半导体芯片生产线竣工环境保护验收（噪 声和固体废物）监测（调查）报告 建设单位： 成都海威华芯科技有限公司 编制单位：四川省环境监测总站 2018 年4 月 四川省环境监测总站 第 1 页 共19 页 四川省环境监测总站 第 2 页 共20 页 成都海威华芯科技有限公司6 吋第二代/第三代半导体集成电路芯片生产线项目砷化镓、氮化镓 半导体芯片生产线竣工环境保护验收（噪声和固体废物）监测（调查）报告 1 验收项目概况 成都海威华芯科技有限公司6 吋第二代/第三代半导体集成电路芯片 生产线项目于 2013 年 3 月由四川省发展和改革委员会以川投资备 [510000013031101]0014 号文予以备案。2013 年7 月，信息产业电子第 十一设计研究院科技工程股份有限公司编制了该项目环境影响报告书。 2013 年 8 月，四川省环境保护厅以川环审批[2013]460 号文对该项目环 评报告书给予批复。该项目环评设计规模为砷化镓半导体芯片（6 寸） 40000 片/年，氮化镓半导体芯片（6 寸）30000 片/年和SIP 封装（微波 组件）30000 片/年，项目于2011 年4 月开工建设，2016 年4 月已完成 第二代半导体集成电路芯片生产线和第三代半导体集成电路芯片生产厂 房的建成（两条线中的部分相同工段是共用同一套设备设施），可实现砷 化镓半导体芯片40000 片/年和氮化镓半导体芯片30000 片/年的产能， SIP 封装（微波组件）生产线尚未建设。项目于2016 年8 月投入试生产。 目前主体设备和环保设施运行正常，具备验收监测条件。 2016 年8 月，我站受成都海威华芯科技有限公司委托，对成都海威 华芯科技有限公司6 吋第二代/第三代半导体集成电路芯片生产线项目砷 化镓、氮化镓半导体芯片生产线进行竣工环境保护验收监测工作。2016 年同月，我站派员前往现场进行资料收集和现场踏勘后，查阅了相关技 术资料，在此基础上编制了本验收监测方案。根据监测方案的要求，四 川省环境监测总站于2018 年1 月8~10 日进行了现场监测和调查，根据 验收监测和调查结果，编制了本报告。 本次验收监测对象：本次验收监测属于分期验收监测，验收监测对 四川省环境监测总站 第 3 页 共19 页 象为：成都海威华芯科技有限公司6 吋第二代/第三代半导体集成电路芯 片生产线项目砷化镓、氮化镓半导体芯片生产线的主体工程、已建成辅 助工程、公用工程及办公及生活设施（详见表3-2）。 本次验收监测主要内容： （1 ）厂界环境噪声排放监测； （2 ）固体废弃物处置情况检查。 2 验收依据 2.1 建设项目环境保护相关法律、法规、规章和规范 2.1.1 《中华人民共和国环境噪声污染防治法》； 2.1.2 《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》； 2.1.3 《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（国家环境保护总局令第 13 号）。 2.1.4 《关于加强城市建设项目环境影响评价监督管理工作的通知》（国家 环保部环办[2008]70 号，2008.9.18 ）； 2.1.5 《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》（国家环 保部环发[2012]77 号，2012.7.3 ）； 2.2 建设项目环境影响评价文件及审批部门审批决定 2.2.1