CF洁净空调系统介绍及节能的探讨.docVIP

CF洁净空调系统介绍及节能的探讨 　　【摘要】 本文简要归纳了当前国内的洁净厂房节能发展重要性。论述了熊猫洁净厂房的构造及特点，指出了现场洁净空调的参数要求及特点。提出洁净厂房空调系统节能的建议。 　　【关键词】 节能；洁净度；风量；气流组织 　　随着我国信息产业的发展，我国出现了越来越多的各式洁净厂房。相关生产企业，起始由于成品率很低，企业最关注的是产品的成品率问题。但随着科技进步和技术的提升，各企业的成品率都大幅度提高，产品的品质在很大程度上得到了保证。但随着产品集成度和生产环境洁净度要求的提高，电子厂房的耗能却在急剧的增大，成为典型耗能大户。进入新世纪，能源问题已成为制约我国持续快速发展的瓶颈问题。能源的短缺，又致使能源价格不断攀升，这些都使得电子厂房的节能问题成为相关企业关注的焦点。企业要迎面竞争，想在激烈的市场竞争中不被淘汰，就必须面对洁净厂房空调系统的节能问题。 　　洁净厂房空调系统因其风量大、新风负荷太、阻力高等特点，耗能非常高，是一般空调系统的10余倍，因此不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，洁净室空调系统的节能设计和运行有较强的必要性和潜力； 　　南京中电熊猫2012年8月成立南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，投资23.31亿元，旨在稳定彩色滤光片的来源，确保G6项目原材料供应的可靠性，有效降低彩色滤光片采购成本，加速自主研发，有效监控和提升彩色滤光片品质。2013年10月开始建设六代线彩色滤光片生产线项目，主要产品就是1500*1800mm的彩色滤光片，月生产能力9万片（90K）。 　　一、洁净室构成 　　CF洁净室的构成是由下列各项系统所组成： 　　（1）天花板系统：包括吊杆（Ceilingrod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceilinggrid或Ceilingframe）。 　　（2）洁净空调系统：包括空调箱、过滤器系统、风车等。 　　（3）隔墙板（Partitionwall）：包括窗户、门。 　　（4）地板：包括高架地板（防微震基础支撑结构）或防静电地板。 　　（5）照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。 　　二、CF无尘车间的特点 　　1、无尘车间的洁净度 　　本厂洁净室型式采用的是大开间加局部的partition，整体净化洁净度一般为千级或万级。局部partition内的机器人为百级、曝光机内、BUFFER内洁净度为十级。 　　2、洁净室的气流 　　层流式（Laminar）： 　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1～100。其型式可分为二种： 　　（1）水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 　　（2）垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。CF主厂房洁净室选用的就是这种结构。 　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 　　洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 　　洁净室系利用新风HEPA和循环风ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97～99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。 　　洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选0.25～0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。 　　3、洁净室空调系统特点 　　（1）温湿度要求：一般空调系统温度要求在25℃～27℃，相对湿度为55～70%；生 　　产区温度23±2℃，相对湿度为50+5%。曝光机内单独采用恒温恒湿精密空调控制温度23±1℃。现场R＼G＼B＼PS＼BM各生产线重点区域在吊顶上安装温湿度传感器进行监控，收集的数据通过SCDA协议通过交换