微电子技术应用基础第二课集成电路制造工艺.ppt

第二章 集成电路的制造工艺 第一节　双极型集成电路的工艺流程  第二节 MOS集成电路的工艺流程 第三节外延工艺 第四节氧化工艺 第五节 化学汽相淀积(CVD)方法  第六节 掺杂技术 第七节光刻工艺  第八节 刻蚀技术   第二章 集成电路的制造工艺 第九节 淀积工艺 第十节 表面钝化技术 第十一节 隔离技术 第十二节　微电子技术的加工工艺环境 第十三节 衬底材料    返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 返回 * * 第一节 双极型集成电路的工艺流程 PN结隔离方法制造双极型集成电路的典型工艺流程。图1 第二节 MOS集成电路的工艺流程 N沟道铝栅NMOS晶体管的制造工艺流程 图1 CMOS集成电路工艺流程 CMOS反相器 图2 CMOS主要工艺流程图 图3 第三节 外延工艺 外延技术的采用主要有以下优点： ① 利用外延技术可以提高高频大功率晶体管的频率和功率特性。 ② 在双极型集成电路的制造工艺中，采用外延技术容易实现隔离 。 ③ 利用外延技术可以根据需要方便地控制薄层单晶的电阻率、电导类型、厚度及杂质分布等参数。增大了工艺设计和器件制造的灵活性。 外延生长的方法和原理 汽相外延生长的设备 图 汽相外延生长的方法 汽相外延生长原理 其他外延技术 液相外延：液相外延是一种在溶液中生长晶体的方法。液相外延的优点是可以得到高纯度的外延层。 分子束外延：分子束外延实际上是一种直接淀积技术。分子束外延的优点是：能精确控制外延层的化学配比，杂质分布和外延层厚度。 第四节 氧化工艺 1 二氧化硅的性质及其作用 (1) 二氧化硅的性质 ① 二氧化硅是理想的电绝缘材料，实验表明，二氧化硅在室温附近相当宽的温度范围内性能稳定，电阻率很高。 ② 二氧化硅的化学特性非常稳定， ③ 实验证明某些杂质在二氧化硅中的扩散系数比在Si中的要小，因而可以用二氧化硅膜作扩散的掩蔽层。 ④ 二氧化硅的电容性能是用介电常数表征的 。 (2) 二氧化硅膜的作用 ① 在MOS集成电路中，二氧化硅层用做MOSFET的绝缘栅介质 ② 二氧化硅层可以用做掺杂时的掩蔽层 .可以作为注入离子的阻挡层。 ③ 二氧化硅膜对器件表面有保护和钝化作用 ④ 二氧化硅膜用做制作电容器的介质材料。 ⑤ 二氧化硅膜用于集成电路中的隔离介质和电绝缘介质 2 二氧化硅层的热生长机理  ① 干氧氧化法。干氧氧化的氧化层生长机理是：处在高温状态的氧分子与硅片表面的硅原子接触产生化学反应在硅表面形成二氧化硅层 ② 硅的水汽氧化。硅的水汽氧化生长氧化层的机理是：高温下，水蒸气与硅材料表面接触时，水分子与硅材料表面的硅原子发生反应生成二氧化硅层， ③ 湿氧氧化 ④在实际的生产中，广泛采用的氧化方式是：干氧—湿氧—干氧的交替氧化生长二氧化硅的方式 3 二氧化硅膜的制备方法 图 此外还有氢氧合成氧化及高压氧化等制备二氧化硅膜的方法。 第五节 化学汽相淀积(CVD)方法 化学汽相淀积指的是通过气态物质的化学反应在衬底上淀积一层薄膜材料的过程。 化学汽相淀积技术特点是：淀积温度低，淀积薄膜的成分和厚度容易控制，均匀性和重复性好，适用范围宽，设备简单等诸多优点。 1 化学汽相淀积二氧化硅膜 ① 低温 ② 高温 2 多晶硅膜的制备 3 氮化硅膜的制备 常用的方法是化学汽相淀积法。多用等离子体化学汽相淀积（PECVD）方法。 第六节 掺杂技术 掺杂是指将需要的杂质掺入到半导体特定的区域中的技术。目的是：改变半导体的电学性质，制造PN结二极管、NPN和PNP晶体管、电阻器等。在集成电路生产中扩散和离子注入掺杂是常用的两种掺杂技术。 1 扩散原理 (1) 扩散的本质与扩散方法 在集成电路工艺中的扩散指的是在一定温度下， Ⅲ族元素硼（B）或V族元素磷（P）、砷（AS）等原子能够克服阻力进入半导体（硅）中并缓慢地移动。 进入半导体中的杂质原子有替位式扩散和间隙式扩散两种方式。 (2) 两种表面源的扩散方程的解 图1 图2 (3) 扩散工艺的主要参数 ① 薄层电阻。图3 图4 ② PN结结深Xj 磨角法 Xj=dsin θ 图 滚槽法 Xj=ab/2R 图 (4) 杂质的横向扩散 在大规模集成电路制造工艺中应减小或避免杂质的横向扩散 图 2 扩散工艺 固态源扩散装置 图 工艺过程为：先是固态氮化硼源的活化,活化后的氮化硼源与硅片间隔等距离立放在反应室内，加热到960℃扩散,将预淀积后的硅晶片在稀氢氟酸中漂去掺入硼的二氧化硅（硼硅玻璃）层后