感光材料光谱灵敏度测定曝光系统的设计-Opto-ElectronicJournals.PDF

第 43 卷第 12 期 光电工程 Vol.43, No.12 2016 年 12 月 Opto-Electronic Engineering Dec, 2016 文章编号：1003-501X(2016)12-0072-07 感光材料光谱灵敏度测定曝光系统的设计 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 1, 2 孙 乐 ，黄元申 ，盛 斌 ，董成成 ，周红艳 ，张大伟 ( 1. 教育部光学仪器与系统工程研究中心，上海 200093 ； 2. 上海现代光学系统重点实验室，上海 200093 ) 摘要：为了测定感光材料的光谱灵敏度，通过 Code V、SolidWorks 软件优化设计了一套感光材料光谱灵敏度测定 曝光系统。分析比较了在不同入射角、不同光栅线数情况下系统光路结构的差异，确定入射角 25°、光栅线数为 350 L/mm 是系统的最优设计。实验结果表明，设计的曝光系统能够产生一个宽 201.5 mm ，高 80 mm，覆盖360 nm900 nm 光波长的矩形光谱，经过一个 18 等级台阶的灰度片使得光谱功率能在 0.52 mW10.65 mW 之间进行 调节，光谱分辨率能够达到 0.021 nm ，满足曝光系统的设计要求。 关键词：光谱测量；光谱灵敏度；光栅；光谱功率；分辨率 中图分类号：O433.1; TN253 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2016.12.012 Design of Exposure System for the Spectral Sensitivity Detection of the Photosensitive Material SUN Le1, 2 ，HUANG Yuanshen1, 2 ，SHENG Bin1, 2 ， DONG Chengcheng1, 2 ，ZHOU Hongyan1, 2 ，ZHANG Dawei1, 2 ( 1. Engineering Research Center of Optical Instrument and System, Shanghai 200093, China; 2. Ministry of Education and Shanghai Key Lab of Modern Optical System, Shanghai 200093, China ) Abstract: To measure the spectral sensitivity of the photosensitive material, an exposure system for the spectral sensitivity detection of the photosensitive material is designed by use of commercial software of Code V and SolidWorks. The structural differences of the optical path are analyzed using line density of grating under diverse incident angle. The analysis result is that the incident angle of 25° and line density