精功铸锭炉安操作规程.docVIP

海南英利新能源有限公司 2011年 JJL500铸锭炉 安全操作规程 文件编号： 版 次： 修订状态： 受控状态： 编 制： 审 核： 批 准： JJL500铸锭炉安全操作规程 第 PAGE 5 页 共 NUMPAGES 13 页 目次 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc279061303 1 范围 PAGEREF _Toc279061303 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061304 2 引用文件 PAGEREF _Toc279061304 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061305 3 对操作人员的要求 PAGEREF _Toc279061305 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061307 4 铸锭炉操作规程 PAGEREF _Toc279061307 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061308 4.1 系统介绍： PAGEREF _Toc279061308 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061309 4.2 铸锭炉系统组成： PAGEREF _Toc279061309 \h 2 HYPERLINK \l _Toc279061311 4.3 炉子的操作 PAGEREF _Toc279061311 \h 4 HYPERLINK \l _Toc279061312 4.4安全的装上石墨板和螺栓将石墨支撑板放在坩埚周围。 PAGEREF _Toc279061312 \h 6 HYPERLINK \l _Toc279061313 4.5 Monitoring the Auto Cycle PAGEREF _Toc279061313 \h 11 HYPERLINK \l _Toc279061315 5.设备的维修与保养 PAGEREF _Toc279061315 \h 15 1 范围 本文制定了JJL-500铸锭炉操作规程 本文件仅适用于JJL-500铸锭炉。 2 引用文件 厂家设备使用说明书 3 对操作人员的要求 3.1 熟悉设备安全操作规程，能正确使用设备。 3.2 未经批准，不准无关人员操作设备 3.3 多人操作同一设备，应严格履行交接班检查手续。 3.4 精功铸锭炉使用过程中严格执行《精功铸锭炉维修保养作业指导书》，使其达到设备完好标准。 4 铸锭炉操作规程 4.1 精功铸锭炉工作原理简介： 精功铸锭炉工作顺序为：加热、熔化、晶体生长、退火、冷却，并包含突发情况出现时的急冷。控制原理及生产流程简述如下：通过工控机设置完各种工艺参数和预设定参数后，送达 SNAP 智能控制器。将经过 SiN 涂布处理的坩埚里装入多晶硅料，并放置在热交换台上。关闭闭炉体及隔热笼 并抽真空。然后通过调整可控硅来控制变压器输出 3800A 的电流加到石墨加热器，并通过 SNAP 智能控制器，自动温度控制，加热若干小时以使多晶硅料熔化。当多晶硅料完全熔化后，根据工艺要求，缓慢降低隔热底板，暴露出热交换台，使能量可以藉辐射方式散发至通有冷却水的炉壁。热交换台的温度下降会使硅溶液形成垂直的温度梯度，此温度梯度控制硅由底部开始凝固结晶。当所有硅料凝固结晶后，硅锭再经过热退火，供入惰性气体，控制冷却方式等步骤消除热应力，以避免铸块出现裂缝及减少差排的发生。冷却到规定温度后，开炉出料。 4.2 精功铸锭炉系统介绍： 4.2.1钢结构部件 钢结构部份分上下两层，中部三支腿支撑炉体以及驱动装置，外部四立柱支撑整 个钢楼面，两侧装有楼梯（可选），钢结构平台上部围有护栏。真空与供气系统、水 冷却系统、电源供应系统、控制柜与操作面板的大部分管路都悬藏于钢结构平台下面。 图1 系统硬件 4.2.2真空炉体 整个真空炉体的中部为圆柱形，上下端呈碟形，分内外两层，中间夹层通有冷却水。从中部法兰面分为上下炉体，上炉体由三个支腿支撑固定；下炉体悬挂于三个螺 旋升降器末端，一个直流马达通过可弯曲的软轴驱动这三个螺旋升降器的丝杠，使下炉体上下移动。当上下炉体闭合时，法兰面上的密封圈被紧压，同时合上法兰面外侧的锁紧装置，保证不漏气。 4.2.3加热隔热