传感器技术课件——压电式传感器.ppt

* * 4.5 压电式传感器 基于某些材料的压电效应，通过材料受力作用变形时，其表面会有电荷产生而实现非电量测量---(有源传感器) 传感元件具有 压电效应 被测信息 敏感元件 转换元件 信号调理电路 输出信息 压电元件 压电元件 压电传感元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的物理量，如：力、压力、加速度、机械冲击和振动等。 压电传感器具有响应频带宽、灵敏度高、信噪比大、结构简单、工作可靠、质量轻等优点。 随着与之配套的二次仪表以及低噪声、小电容、高绝缘电阻电缆的出现，使压电传感器在工程力学、生物医学、电声学等许多技术领域得到广泛的应用。 学习内容 工作原理 压电材料 等效电路 测量电路 应用 压电式传感器 §1 压电效应 正压电效应（顺压电效应）：某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的一定表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复不带电状态的现象。当作用力方向改变时，电荷极性也随着改变。 逆压电效应（电致伸缩效应）：当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就在一定方向上产生机械变形或机械压力，当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失的现象。 电能 机械能 正压电效应 逆压电效应 一般将具有压电效应的电介质称为压电材料。 具有压电效应的物质很多，如天然石英晶体，人工制造的压电陶瓷等。 石英晶体是应用最广的压电晶体，有天然石英和人造石英。天然石英性能较人造石英更稳定，其介电常数和压电常数的稳定性好（在几百度范围内不变），机械强度高，绝缘性好，重复性好，线性范围宽。 Z X Y (a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 Z Y X 光轴（无压电效应） 电轴（纵向） 机械轴（横向） 正压电效应最明显 逆压电效应最明显 石英晶体在温度低于573oC时，为 -石英，属六角晶系；高于573oC时，为 -石英，属三角晶系。实验证明， -石英的压电效应很明显， -石英的压电效应可忽略。 -石英外形为六角形晶柱，两端是六棱锥形状，用三个互相垂直的轴来表示。 压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体的压电效应 石英晶体是如何产生压电效应的？ 这主要与其内部结构有关。 石英晶体的分子式是 ，每个晶体单元含有三个硅离子和六个氧离子。将它们在Z平面投影，并等效为正六边形排列。 (b) (a) X Y 硅氧离子的排列示意图 (a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影 + + - - - Y X + 如图，A、B两个平面是在垂直X轴方向两个平面上用真空镀膜法或沉银法得到的电镀面。 + + - - - Y X + A B + + - - - Y X + A B Fx Fx ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － + + - - - Y X + A B ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － － Fx Fx + + + + － － － － + + + + － － － － － － － － + + + + － － － － + + + + (c) (d) FX FX (a) (b) X X FY FY X X + + - - - Y X + A B 假设从石英晶体上沿Y轴切下一片晶体切片，如下图，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如图。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 当晶片受到沿X轴方向的应力Fx作用时，晶片将在垂直X轴方向的两个电极面积聚电荷，其大小为： Z Y X h a 石英晶体切片 b 由此可知，纵向压电效应与面积A1大小无关，即与晶体的几何尺寸无关。 x轴方向受力的压电系数 若沿Y轴方向施加压力Fy时, 则在A面上出现正电荷，在B面上出现等量的负电荷，即仍在与电轴垂直的平面上产生电荷，其大小为： 此时产生的压电效应为横向压电效应，所以横向压电效应与晶体的几何尺寸有关。 沿z轴方向施加力时，由于硅、氧离子是对称平移，故在表面没有电荷呈现，没有压电效应。 + + - - - Y X + A B Z Y X h a 石英晶体切片 b 的方向由所受力是压力还是拉力决定。 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是人工制造的多晶体，它的压电机理与石英的压电机理不同，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，这些区域会自发极化，从而存在一定的电场。 在无外电场作用下，如图（a） ，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为0。 直流电场E 剩余极化强度 剩余伸长 电场作用下的伸长 (a)极化处理前 (b)极化处理中 (c)极化处理后 在外电场的作用下，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场的方向排列，从而使材料极化。如图（b）。 极化后，当外电场去