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X射线光电子能谱分析第七章电子能谱.ppt 36页

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第七章 电子能谱 X-射线光电子能谱仪,是一种表面分析技术,主要用来表征材料表面元素及其化学状态。 基本原理:使用X-射线与样品表面相互作用, 利用光电效应,激发样品表面发射光电子, 利用能量分析器,测量光电子动能, 根据B.E=hv-K.E-W.F进而得到激发电子的结合能。 我们就是为了得到样品的结合能! §7.1 电子能谱的基本原理  副量子数L表示原子轨道的形状。L=0时(称s轨道),其原子轨道呈球形分布(图4-5);l=1时(称p轨道),其原子轨道呈哑铃形分布(图4-6) 原子结构 §7.2 X射线光电子能谱(XPS) Ni-P合金的Ni 2p3/2 XPS谱 7.3 XPS谱图中谱线 XPS光电子线及伴线 A.光电子线:在图谱中明显而尖锐的谱峰。强度最大,峰宽最小,对称性最好。称为主峰-元素定性分析主要依据。 B.俄歇线:俄歇电子形成的谱线。 俄歇谱线的表示:LMM俄歇电子是L层电子被激发,M层电子填充到L层,释放的能量又使另一个M层电子激发所形成的俄歇电子。 C.X射线卫星线:X射线并非单色,阳极材料原子产生荧光X射线效应,这些射线统称Kα1,2X射线的卫星线。卫星线激发的光电子形成X射线卫星峰。表现图谱,在主光电子线的低结合能或高结合能端较小的卫星峰。 D.多重分裂:原子电离后空位与自旋电子发生偶合,得到不同终态,相应每一个终态,在图谱上将有一条谱线。 配位体相同时,多重分裂与未成对电子数正相关。多重分裂谱线能量差与配位体离子电负性相关,可以用于判断价态。 E.能量损失谱线:光电子穿过样品表面时,同原子间发生非弹性碰撞、损失能量后在图谱上出现的伴峰。 F.电子的振激与振离谱线 (一)振离谱线。振离是一种多重电离过程。原子的一个内层电子电离而发射,导致一个外层电子电离。光电子能量被原子吸收,在图谱主光电子峰附近出现连续谱线。 (二)振激谱线。过程与振离相似,所不同的是价壳层电子跃迁到更高级束缚态。结果在谱图主光电子峰的低动能端分离的伴峰。判断顺磁反磁、键的共价性、几何构型等化学性质。 §7.4 俄歇电子能谱(AES) 俄歇过程和俄歇电子能量 §7.5 电子能谱仪简介 能量分析器 半球形电子能量分析器 筒镜形电子能量分析器 检测器 真空系统 样品处理 §7.6 应用举例 电子能谱目前主要应用于催化、金属腐蚀、粘合、电极过程和半导体材料与器件等这样一些极有应用价值的领域,探索固体表面的组成、形貌、结构、化学状态、电子结构和表面键合等信息。随着时间的推移,电子能谱的应用范围和程度将会越来越广泛,越来越深入。 XPS 是用X射线光子激发原子的内层电子发生电离,产生光电子,这些内层能级的结合能对特定的元素具有特定的值,因此通过测定电子的结合能和谱峰强度,可鉴定除H和He(因为它们没有内层能级)之外的全部元素以及元素的定量分析。 * 基本原理就是光电效应。 在高于某特定频率的电磁波照射下,物质内部的电子会被光子激发出来即光生电。 自由原子的光电效应能量关系 对孤立原子或分子, 就是把电子从所在轨道移到真空需的能量,是以真空能级为能量零点的。 对固体样品,必须考虑晶体势场和表面势场对光电子的束缚作用,通常选取费米(Fermi)能级为参考点。 0k时固体能带中充 满电子的最高能级 功函数 为防止样品上正电荷积累,固体样品必须保持和谱仪的良好电接触,两者费米能级一致。样品与仪器触电电位差。 仪器功函数 功函数 实际测到的电子动能为: 核外电子的运动状态 电子在原子中的运动状态,可n,L,m,ms四个量子数来描述。 (一)主量子数n 主量子数n决定电子层数的。对单电子原子来说,n值愈大,电子的能量愈高。 (二)角量子数(副量子数) 物理意义是表示原子轨道的形状。另一个物理意义是表示同一电子层中具有不同状态的亚层。 当主量子数n给定时,L可取值为0,1,2,3…(n-1)。在每一个主量子数n中,有n个副量子数,其最大值为n-1。按光谱学上的习惯l用s,p,d,f等符号表示。 (三)磁量子数m 磁量子数m决定原子轨道在空间的伸展方向。当副量子数l给定时,m的取值为从-l到+l之间的一切整数(包括0在内),共有2L+1个取值,原子轨道在空间有2l+1个伸展方向。 (四)自旋量子数ms 原子中的电子除绕核作高速运动外,还绕自己的轴作自旋运动。电子的自旋运动用自旋量子数ms表示。ms 有两个值+1/2和-1/2。只有两个方向,即顺/逆时针方向。通常用“↑”和“↓”表示 另外,能级由于自旋-轨道偶合发生分裂,用内量子数j来表征。 j=|l+ms | 电子能谱中用主量子数n,角量子数l,内量子数j三个量

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