二氧化碳激光器机械调Q的研究-光学工程专业论文.docxVIP

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以 明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索， 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□， 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 摘 要 在激光的发展过程中，调 Q 技术是一个极其重要的突破，通过调 Q 后的脉冲激光 和物质的相互作用，推动了非线性光学的发展，另外在窄脉冲的调 Q 脉冲的应用上使 得雷达、测距、全息摄影等方面的技术得到了很大的发展。 本文围绕机械调 Q 二氧化碳激光器的输出特性和腔型分析进行了一些研究。首先 我们对现在世界上调 Q 技术进行了了解和调研，然后根据实验室的 EUV 项目的需求， 在了解一定激光器的性能参数后，在多次实验和模拟计算后我们设计了一台后面调 Q 实验所需要的机械调 Q 二氧化碳激光器。 为了使得机械调 Q 的研究更全面，本论文从激光器所能提供的额定功率，重复频 率，斩波片的切口宽度等方面对机械调 Q 二氧化碳激光器输出的脉冲波形，平均功率， 脉冲宽度和峰值功率在各种不同情况下进行了比较细致全面的研究。通过对谐振腔腔 型的稳定性的计算我们知道我们的整个光学系统在加入望远镜系统前后都是稳定的， 通过对谐振腔各种腔型内各处的光斑大小计算和选择，我们最后确定了一种能符合 EUV 实验项目要求的腔型参数，且能够得到比较好输出激光。 通过了对机械调 Q 二氧化碳激光器的研究，为下一步的电光调 Q 二氧化碳激光器 的研究的展开打下了理论基础，提供了实验器材的基础，是非常有价值的。 关键词：二氧化碳激光器 机械调 Q 谐振腔稳定性 光斑计算 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 Abstract In the history of laser technology, the development of Q-switched technology is important. The technology of Q-switch has promoted the nonlinear optical developing through the interaction between Q-switched pulses and materials. Q-switched technology also made great developments of laser rangefinder, lidar, high-speed photography holographic and so on. So lots of attentions were focused on Q-switched technology. In this thesis, the mechanical Q-switched CO2 laser output characteristics were studied and some research work were carried out on laser resonator experimentally and theoretically. Firstly, the thesis introduced some investigations on Q-switched technology. Then a mechanical Q-switched CO2 laser was designed according to the requirements o f EUV （extreme ultraviolet） project. In this study, the influences of rated power, laser repetition frequency, chopper incision width of the film, and other parameters on properties of the mechanical