机电工程与自动化学院微机电系统(MEMS)幻灯片课件.ppt

微机电系统概述;微机电系统(MEMS) MEMS是适用于批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制及通讯接口电路、能源等于一体的能完成特定功能的微系统。;;;;;微飞行器;;; MEMS与相关学科领域;; 4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。 5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。; 微机电系统研究得到了美国、日本、欧洲等各国政府机构、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。源源不断涌现的MEMS器件和系统不但突破了某些传统加工技术的瓶颈，实现了技术的进步，甚至带来了观念的革命和产业结构的更新。其中以美国的表现最为突出。 从八十年代以来，美国政府机构把MEMS作为科技发展的三大重点之一，先后得到了NASA、DARPA、国家科学基金会等数亿美元的资助。1994年发布的《美国国防部技术计划》报告也将微机电系统列为关键技术项目。 ;本章主要内容;MEMS典型器件及系统;微型传感器;;;;;谐振式微