方腔结构光延迟性能的研究-光学专业论文.docxVIP

Classified Index: O433.1 U.D.C: 535 Dissertation for the Master Degree in Science OPTICAL PATH-LENGTH RETARDATION OF CUBIC CAVITY STRUCTURE Candidate： Li Yinjie Supervisor： Prof. Zhang Zhiguo Academic Degree Applied for： Master of Science Speciality： Optics Affiliation： Department of Physics Date of Defence： June, 2013 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 摘 要 近些年来，痕量气体含量的监测成为各国都十分关注的热点问题，它涉及到 了大气污染、工业生产、医疗卫生等诸多方面，对人类的生产生活和环境的保护 都具有重要的意义。其中 TDLAS 技术以其选择性好、灵敏度高、快速响应的优 点被这一领域广泛应用，基于 Beer-Lambert 定律，增加气体吸收光程是监测低浓 度气体最直接最有效的方法，传统的增长光程技术被近些年发展起来的积分球技 术所替代，然而积分球制作工艺复杂、价格昂贵，因此研发了制作方便、参数易 于调节的高漫反射方型腔。本论文主要以 TDLAS 技术测量空气中氧气的吸收信 号为手段，以方腔结构作为吸收池，实现气体吸收光程的增长，重点进行了方腔 结构增长光程规律的研究。 开展了氧气气体监测的光谱分析方法研究。通过分析氧气吸收光谱特征，确 定了研究氧气在 760 nm 波段的吸收光谱；针对氧气吸收光谱特征，以及 Beer-Lambert 定律，建立了氧气测量的 TDLAS 方法；搭建了实验系统和装置， 实验测量了空气中不同距离下氧气的直接吸收信号，得到了光程与氧气吸收光学 参量之间的线性关系。 开展了立方腔结构增长气体光程规律的研究。理论上，进行了方腔结构光场 理论的分析，验证了其有效光程理论公式的适用性；实验上，建立了方腔 TDLAS 氧气测量系统，通过探测方腔不同入射位置和不同探测位置有效光程的变化，证 明了方腔内部光场分布均匀；通过变化立方腔的开孔比、尺寸、涂层反射率等结 构参量，探测研究了其有效光程的变化，研究表明，立方腔有效光程与开孔比是 呈规律性反比关系；随着立方腔尺寸增加，其有效光程也不断增加，当涂层反射 率为 97%、开孔比为 0.006 时，有效光程是腔边长的 20 倍；立方腔其内壁涂层 反射率越高，立方腔有效光程越大，而且测量的精准性越高；最后总结出了立方 腔有效光程与开孔比、反射率等结构参量间的解析关系式。 开展了串联腔结构增长气体光程规律的研究。通过改变串联腔中串联孔径位 置及大小，测量串联腔有效光程的变化，表明改变串联孔径位置，对串联腔有效 光程基本上没有影响；而随着串联孔径由小及大的变化，也就是串联腔内表面积 不断减小，串联腔的有效光程则呈现着 e 指数下降的趋势；研究还表明串联双腔 有效光程小于两个单腔有效光程之和，但远大于同体积单一长方腔有效光程。 关键词：方腔；气体池；有效光程；可调谐二极管激光吸收光谱技术；氧气 Abstract In recent years, monitoring of trace gases concentration becomes a hot topic which is concerned by all the country. It refers to the atmospheric pollution, industrial production, medical health and many other aspects. It has important significance to human life and environment protection. The TDLAS technology has been widely used by the field due to the advantages of good selectivity, high sensitivity and fast response time. According to the Beer-Lambert law, increasing the optical path length for gas absorption is the most direct and effective way to monitoring gas of low concentrat