仿蝴蝶鳞翅微纳结构光学特性分析-机械电子工程专业论文.docxVIP

1 绪 论 1.1 课题来源 本课题得到了国家重点基础研究发展计划（“973”计划）“IC 制造装备基础问题 研究”课题 4“高密度倒装键合中的多物理量协同控制机制与实现”（2009CB724204）、 国家自然科学基金项目“具有气体检测功 能的仿蝴蝶翅膀三维微纳结构制备” 和“面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法” 、中央高校基本科研业务费专项资金资助“Top-down 与 Bottom-up 相结 合的仿生微纳结构制备方法研究”（2010MS059）以及湖北省自然科学基金“仿蝴蝶 磷翅的染料敏化太阳能电池光阳极结构的制备”（2010CDB00506）的支持，是上述 项目的组成部分。 1.2 选题目的及意义 大自然中的绝大多数物种都在其生物进化过程中逐渐形成了其独特的颜色，而 很久之前人们就已经发现其中部分生物特有的生物色与其微观结构有着紧密的联系 [1,2]。这种生物色来源于生物体微观结构特殊的光学效应，却与色素无关，被称之为 结构色[3,4]。具有结构色的生物体，其生物体表层或表面存在着一些由颗粒、纹路和 脊等构成的复杂的微观结构，该结构使光线发生干涉、衍射或散射等效应，并最终 导致产生一些特殊的颜色效应[5]。 结构色现象广泛地存在于自然界中，特别是在具有羽毛、鳞片及昆虫表皮的生 物体中尤其常见[4,6]。研究发现，南美洲的Morpho蝴蝶鳞翅在阳光的照射下呈现出一 种闪亮耀眼的蓝色光芒，这种颜色效应就是由其蝴蝶鳞翅上特殊的微纳结构引起的， 是一种典型的结构色，而针对这种特殊现象的研究也已经从生物学拓展到了光学， 其中有关其光学机理的研究则发展成为了仿生学中一个重要的研究方向[7-12] 。 Morpho蝴蝶的鳞翅上分布着极其复杂的微纳结构，包括脊、薄层、短肋、微翅脉等， 这种结构与包围该结构的环境氛围共同作用，使入射光线发生干涉、衍射和散射等 效应，可以使反射光谱随环境条件的改变而发生明显变化，从而导致该结构对不同 的环境氛围产生较好的选择性和敏感性。所以，借助于Morpho蝴蝶鳞翅在不同环境 条件下的光学特性发生明显变化的现象，可以将其应用于环境氛围的检测研究。 本文主要是针对典型的生物微纳结构，即 Morpho 蝴蝶鳞翅微纳结构的光学特性 进行实验研究及仿真分析，检测其微纳结构并建立相应的仿生模型，将实验和仿真 互相结合，并相互验证，探索其结构色现象的产生机理和变化规律，为具有高选择 性、高灵敏度化学气体检测功能的仿生微纳结构设计和制备工艺的优化提实验数据 和理论依据，从而促进这种仿生微纳结构的生产制备和广泛应用。 1.3 国内外研究概况 Morpho蝴蝶因其鳞翅闪亮耀眼的蓝色结构色现象而闻名于世，而关于这种特殊 颜色的研究也持续了超过一个世纪。在 20 世纪初，围绕着这种特殊颜色的形成机理， 两种不同的观点展开了辩论。Michelson认为这种闪亮的色彩是由一层包含色素的表 面薄层的表面反射所导致的表面色[13]；而Rayleigh则认为这种颜色是由多层干涉引起 的，并称之为结构色[14]。此后，许多科研工作者在此领域进行了前瞻性研究并取得 了进一步的发展[15-18]；但是直到 1990 年以后，有关其颜色机理的物理解释才因测量 检测技术的发展和应用而取得重大进展[19-25]。 Vukusic等检测了Morpho蝴蝶整块鳞翅及单个鳞片的反射特性，提出蝴蝶耀眼的 蓝色光芒来源于其鳞翅的微纳尺度结构并通过实验进行了验证，同时他们还针对蝴 蝶的散射及吸收作用进行了理论及实验研究[5,26-30]。受其启发，GE Global Research 的Potyrailo在Nature Photonics上发表文章指出：Morpho蝴蝶闪耀着蓝色光芒的颜色 机理应与其鳞翅微纳结构所处的气氛密切相关[31]，为此他们还针对蝴蝶鳞翅的气敏 性展开了研究[32]。图 1.1 显示了Morpho蝴蝶鳞翅的气体检测原理示意图。蝴蝶鳞翅 特殊的微纳结构会对入射光线产生干涉、衍射、散射等效应；当鳞翅处于某种环境 气氛时，相应的气体分子会迅速扩散并充满整个环境，并在蝴蝶鳞翅的微纳结构上 铺满很薄的一层，从而改变其光学特性，并导致其反射光谱发生明显变化，如此即 可实现对不同环境气氛的高灵敏度、高选择性检测。 图 1.1 Morpho 蝴蝶鳞翅气体检测原理示意图 Potyrailo等利用电子束光刻（electron-beam lithography）、化学气相淀积（CVD）、 聚焦离子束化学气相淀积（focusedion-beam CVD）、原子层淀积（ALD）等制造工艺 在不同的基底上加工出了相应的仿生微纳结构；并将这些结构用于不同环境气氛的 检测，通过对反射光谱的变化采用PCA