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激发态是不稳定态，必然自发地向稳定态过渡。 方法之一：较高能量的L层电子向K层跃迁。 λα=hc/ ΔE 在跃迁的过程中，前后存在能量差异，其差异即等于K层与L层的能级差 即： ΔE＝EL－EK＝hγ 方法之二：更高能级的M层向K层跃迁。 ΔE＝EM－EK＝hγ λβ=hc/ ΔE 显然 λα λβ 由于K层电子缺失，电子跃迁形成的X射线称K系X射线，即K α …… ……。 X射线的波长为： 对于每一元素，EK EL都有确定的特征值，所以发射的X射线波长也有特征值，这种X射线被称为特征X射线。 X射线的波长和原子序数之间服从莫塞莱定律： 可以看出原子序数和特征能量之间是有对应关系的，利用这一对应关系可以进行成分分析。 这就是X能谱分析（Energy Dispersive Spectrometer, EDS）的理论基础。 2.4俄歇电子 （Auger electron） 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以X射线的形式释放而是用该能量将核外另一电子打出，脱离电子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。 俄歇电子的能量为几百eV至几个keV，它们只能从很靠近表面的地方逸出，故俄歇电子能给出表面的化学信息. 利用俄歇电子做表面分析的仪器称为俄歇电