二次非球面反射镜聚焦成像特性矢量理论研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

Classified Index: TH741.8 U.D.C.: 681.7 Dissertation for the Master Degree in Engineering VECTOR THEORY ON FOCUSING IMAGING PROPERTY OF SECONDARY ASPHERIC MIRROR Candidate: Zhong Cien Supervisor: Associate Prof. Liu Jian Academic Degree Applied for: Master of Engineering Specialty: Instrument Science and Technology Affiliation: School of Electrical Engineering and Automation Date of Defence: June 30th, 2012 Degree-Conferring-Institution: Harbin Institute of Technology 摘 要 反射镜的无色差聚焦和能够获得 NA 接近 1 的特性使其在共焦显微技术、 光刻技术、光学存储技术、纳米粒子捕获技术等领域获得越来越多的应用。由 于低阶的二次非球面反射镜具有加工难度低、聚焦特性独特等优点，因此成为 科研人员的研究热点。大数值孔径光学系统的聚焦场三维分布与入射光的偏振 态有关，因此必须采用矢量衍射理论进行分析。 本课题首先开展了椭球反射镜的聚焦特性矢量研究。基于德拜-沃尔夫积 分，给出了线偏振入射时椭球反射镜的聚焦场三维表达式，实现了对椭球反射 镜的聚焦特性矢量理论分析。在已建立的椭球反射镜的聚焦模型基础上，给出 了径向偏振光入射时椭球反射镜的聚焦场三维分布，并且探讨了电偶极子在椭 球反射镜中的成像特性。针对抛物面反射镜的聚焦问题，在斯特尔顿-朱积分的 基础上，通过求解抛物面反射镜上的电磁场边界值问题，给出了孔径角过 π/2 的抛物面反射镜的聚焦场三维表达式。特别针对求解过程中所做的关于抛物面 反射镜上的二次反射场假设，给出了实验验证。获得的结论有： （1）推导出了椭球反射镜的切趾因子，在德拜-沃尔夫积分基础上建立了 椭球面反射系统的聚焦场矢量分析理论。分析表明，NA=0.95 条件下，x 方向 线偏振光入射时，椭球反射镜的 y 轴主瓣宽度比透镜的压缩 12.07%。径向偏振 光入射时，椭球反射镜的可以获得横向电场几乎为零的聚焦场。为椭球反射镜 在高分辨率共焦显微镜和近场光学中的应用提供了理论依据。 （2）建立了电偶极子在椭球反射镜和双消球差透镜系统的聚焦成像理论。 仿真分析表明，当电偶极子放置在焦点，且电偶极子振动方向平行于系统轴时， 其聚焦光斑呈面包圈状。然而，振动方向垂直于系统轴时，电偶极子的聚焦像 场为实心光斑。当电偶极子横向离焦放置时，仿真结果表明，反射系统的离轴 像差（如彗差）比较敏感。单分子在椭球反射镜中的成像特性为确定单分子的 空间振动方向提供了一种有效手段。 （3）在斯特尔顿-朱积分的基础上，通过求解抛物面反射镜上的电磁场边 界值条件问题，给出了孔径角过 π/2 的抛物面反射镜的聚焦场三维表达式。仿 真分析表明，线偏振光入射时，一次反射场面积分的贡献占主要部分，而端面 轮廓线积分和二次反射场面积分的贡献可以忽略不计。 关键词： 椭球反射镜；抛物面反射镜；矢量理论；电偶极子；偏振 -I- Abstract Mirrors are highlighted because of the absence of chromatic aberration and the acquirement of NA close to 1 which make them attractive in areas such as confocal microscopy technology, photolithography technology, optical storage and nanoparticle trapping technology. The secondary aspheric mirrors feature low processing difficulty, unique focusing properties, and so they become the research focus of academic staffs. Due to the focused electric fields relate to the vector nature of the incident wave, it is necessary to focused apply