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第卷第期振动测试与诊断年月无阀气体压电泵仿真分析与实验田晓超杨志刚吴越王锐杨树臣于建群吉林大学生物与农业工程学院长春长春大学机械与车辆工程学院长春吉林大学机械科学与工程学院长春长春师范大学工程学院长春摘要为了提高微型泵输出流量以及获得连续出流能力设计了一种基于合成射流原理的无阀气体压电泵首先分析了压电气泵的工作原理测试了压电振子的振幅其次利用软件对无阀气泵进行仿真分析得到压电气泵在和时刻的气体流速分布以及容腔高度泵腔高度射流孔直径和出口直径对气泵流量的影响规律最后制作了无阀气体压电泵的实验样机测
第 卷第 期 振动测试与诊断
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